半導体製造装置部品 プラズマ用高周波電源・ウエハ搬送ロボット
ダイヘン
電力機器で稼ぎ、半導体のプラズマ電源で伸ばす会社
変圧器などの電力機器が売上の53.9%を占める電機メーカーで、半導体製造装置にはプラズマ用高周波電源とウエハ搬送ロボットを納めます。
2027年3月期の増収見込みの68%を、高周波電源を含むマテリアルプロセシングが占めると会社は見込んでいます。
ダイヘンは プラズマ発生用の高周波電源と自動整合器 を作り、半導体やFPDの製造装置に組み込まれます。 2027年3月期第1四半期 は高周波電源システムの受注高が過去最高を更新し、マテリアルプロセシングの受注高は301億円（前年同期比63.6%増）でした。
- 2026年3月期 連結売上高 2,377億円 前期比5.0%増。 営業利益187億円、営業利益率7.9%
- 2027年3月期第1四半期 マテリアルプロセシング受注高 301億円 前年同期比63.6%増。 売上高227億円、営業利益26億円
- 2027年3月期 会社予想 マテリアルプロセシング売上高 1,050億円 前期比37.4%増の見込み。 営業利益は120億円の見込み
2026年3月期のセグメント別売上高決算補足資料
- エネルギーマネジメント（電力機器）1,282億円
- マテリアルプロセシング（高周波電源・溶接）764億円
- ファクトリーオートメーション（FA・クリーンロボット）329億円
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
ダイヘンは1919年設立の電機メーカーで、売上の53.9%は電力機器のエネルギーマネジメントです。 半導体向けの高周波電源は売上の32.1%を占めるマテリアルプロセシングに、ウエハ搬送ロボットはファクトリーオートメーションに入ります。
2025年3月期から2027年3月期予想までの売上高と営業利益
連結売上高
連結営業利益
プラズマ発生用高周波電源・自動整合器
400kHzから60MHzまでの高周波電源と、2.45GHzのマイクロ波電源・自動整合器をそろえます。 13.56MHzと2MHzの電源は500W～30kWの出力帯があります。
- 13.56MHz 高周波電源・自動整合器
- 2MHz 高周波電源
- 400kHz 高周波電源
- 60MHz 高周波電源
ウエハ・パネル搬送ロボット
ACTRANSシリーズは真空用と大気用のウエハ搬送ロボットです。 ダブルアーム真空ロボットUT-VDW3000HSは真空内で650WPHの搬送をうたいます。 先端後工程向けにはパネル搬送ロボットSPR-AD020BPNシリーズを市場に投入しました。
- ACTRANS UT-VDW3000HS（真空・ダブルアーム）
- ACTRANS UT-VSW3000NS（真空・スカラアーム）
- ACTRANS UT-VDX3000NS（真空・ダイレクトドライブ）
- ACTRANS UT-AXW3000NS（大気・スカラアーム）
チャンバクリーニング用プラズマソース
プラズマ応用機器事業部が開発・製造します。 高周波電力で作った高密度プラズマで、半導体製造装置を高速にクリーニングする製品です。
- プラズマソース（半導体製造装置クリーニング用途）
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
利益率が高いのは電力機器のエネルギーマネジメントで11.0%、次が高周波電源を含むマテリアルプロセシングの9.7%です。 会社は2027年3月期にマテリアルプロセシングの営業利益率が11.4%に上がると見込んでいます。
売上高2,377億円 / 営業利益187億円
営業利益は前期比16.1%増、経常利益は201億円、親会社株主に帰属する当期純利益は141億円でした。 受注高は2,713億円で前期比12.6%増です。
受注高888億円 / 受注残高265億円
生成AI用途の先端半導体関連投資が高水準で推移し、増収増益でした。 営業利益は前期比6.3%増です。 期末の受注残高は前期末比188.7%です。
連結売上高555億円 / 営業利益40億円
営業利益は前年同期比28.9%増、受注高は860億円で46.5%増です。 マテリアルプロセシングは売上高227億円（37.4%増）、営業利益26億円（39.5%増）でした。
売上高2,800億円 / 営業利益250億円
売上高は前期比17.8%増、営業利益率は8.9%の見込みです。 マテリアルプロセシングは1,050億円（37.4%増）、ファクトリーオートメーションは410億円（24.5%増）を見込んでいます。
2026年3月期のセグメント別売上高
マテリアルプロセシングの売上高
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは、周波数帯をそろえた高周波電源と整合器を、半導体製造装置に組み込む部品として供給できることです。 弱点は、その伸びが半導体投資の波を受け、溶接と同じセグメントの中で見えにくいことです。
強み
- 高周波電源で国内1位、世界3位
会社は高周波電源装置の販売シェアを国内1位、世界3位としています。 電源に加えて、電源と負荷の間で電力の伝送を最適にする高周波自動整合器と、マイクロ波電源もそろえます。
ダイヘンの事業展開 - 高周波電源の受注が過去最高
2027年3月期第1四半期は、高周波電源システムの受注高が過去最高を更新しました。 データセンタ向け高機能半導体デバイスとメモリ向けの需要が高水準で推移しています。
2026年度（2027年3月期）第1四半期決算補足資料 - 電力機器が稼ぎ頭
2026年3月期のエネルギーマネジメントは売上高1,282億円、営業利益141億円で、営業利益率は11.0%です。 全社の営業利益187億円の75%をこの事業が稼ぎます。
2025年度（2026年3月期）決算補足資料 - 先端パッケージ向け搬送で採用実績
パネル搬送の大気ロボットは台湾と国内の大手メーカで標準搭載を獲得し、スカラ型の真空ロボットは国内大手メーカへ納入しました。
2026年度（2027年3月期）第1四半期決算補足資料
リスク・検討点
- 半導体投資の先送りで計画未達になった年がある
前の中期計画の最終年度だった2023年度は、半導体関連投資の先送りや中国経済の停滞を受けて業績目標が未達でした。
2026年度中期計画 - 高周波電源は溶接と同じセグメント
高周波電源システムは溶接・接合と同じマテリアルプロセシングに、ウエハ搬送ロボットはFAロボットと同じファクトリーオートメーションに入ります。 半導体向けの業績は、溶接やFAロボットと合わせたセグメントの数字で開示されます。
2025年度（2026年3月期）決算補足資料 - 部材高騰と先行費用
会社は2027年3月期の営業利益について、部材高騰で20億円、開発費と償却費の先行的な経費支出で36億円の押し下げを見込んでいます。 コスト削減では40億円の押し上げを見込みます。
2025年度（2026年3月期）決算補足資料 - 販売価格と素材価格
会社は市場競争の激化による販売価格の下落と、銅などの素材価格の高騰を事業リスクに挙げています。 中東情勢を背景とする原材料価格の高騰も懸念しています。
有価証券報告書 第162期
04待遇
給与、初任給、休日、手当
新卒の初任給は修士31.2万円、学士28.7万円です。 2026年3月期の単体の平均年間給与は973.2万円で、平均年齢は44.0歳です。
新卒初任給（月給）
- 賃金改定と賞与
- 賃金改定は年1回 4月、賞与は年2回 6月、12月です。 初任給と福利厚生は 新卒採用 募集要項 に載っています。
- 平均年間給与
- 提出会社の従業員1,203名の平均年間給与は973.2万円、平均年齢44.0歳です。 有価証券報告書 の従業員の状況にあります。
- 勤務時間と休暇
- 勤務時間は8:30～17:00（実働7時間45分）です。 年次有給休暇は入社年17日（2年目より25日）です。
- 働き方の実績
- 年間休日は約125日、平均有給休暇取得日数は17.8日、月平均残業時間は20.8時間、平均勤続年数は20.0年です。 数字でみるワークライフバランス にまとまっています。
- 寮
- 自宅からの通勤が難しい場合は独身寮に入れます。 寮は尼崎市と西宮市にあり、寮費は月5,000円（女性は会社借上の寮で月8,000円）です。
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
半導体向けの事業は大阪と神戸に分かれます。 高周波電源のプラズマシステム事業部は大阪の十三事業所、ウエハ搬送ロボットのクリーンロボット事業部は神戸の六甲事業所にあります。
主な勤務地・拠点
- 十三事業所
- 大阪市淀川区田川プラズマシステム事業部、配電システム事業部、EMS事業部など
- 六甲事業所
- 神戸市東灘区向洋町西クリーンロボット事業部、FAロボット事業部、溶接・接合事業部
- 三重事業所
- 三重県多気郡多気町大形変圧器事業部
- 半導体向けの海外拠点
- DAIHEN Advanced Component（米国、高周波電源・クリーン搬送ロボット等の販売）、DAIHEN KOREA（高周波電源・クリーン搬送ロボット等の製造・販売・保守）、ダイヘン精密機械（常熟）（クリーン搬送ロボット等の製造）、OTC機電（青島）（高周波電源等の製造）
新卒採用の職種
- 研究職
- 開発職
- 設計職
- 生産技術職
- 施工管理
- 営業職
- 企画職
- 本社部門職
研究職から施工管理までが総合技術職、営業職・企画職・本社部門職が総合事務職です。 技術系と事務系は併願できません。
06これから
会社が次に取りにいくもの
会社は2027年3月期に売上高2,800億円を見込み、2026年度中期計画の目標を達成する見通しとしています。 半導体向けでは、高周波電源の新工場、先端パッケージ向け搬送ロボット、チャンバクリーニング向けプラズマ源が柱です。
2026年度中期計画の財務目標と2026年3月期実績
- 連結売上高 2,377億円 2026年度目標は2,500億円以上。 2027年3月期の会社予想は2,800億円
- 営業利益率 7.9% 2026年度目標は10.0%以上。 2027年3月期の会社予想は8.9%
これからの材料
- 高周波電源の新工場
- 会社は2027年3月期に、高周波電源システムが生成AI・データセンター向け需要の増加と新工場の本格稼働で増収増益になると見込んでいます。 2025年度 決算補足資料 の業績予想です。
- 先端パッケージ向け搬送
- PLPをはじめとする先端パッケージの各工程向けに、搬送ロボットの製品ラインアップを広げています。
高周波電源の新工場
会社は2027年3月期に、高周波電源システムが生成AI・データセンター向け需要の増加と新工場の本格稼働で増収増益になると見込んでいます。 マテリアルプロセシングの営業利益は120億円、営業利益率は11.4%の見込みです。 会社の予想で、生成AI・データセンター向け需要の増加を前提にしています。
デジタル化分野の売上目標
中期計画は、半導体製造装置向け省エネ電源、省スペースロボット、チャンバクリーニング向けプラズマ源を開発テーマに置き、売上高目標を2026年度250億円、2030年度450億円としています。
FOPLPなど先端パッケージの搬送
FOPLPなどの先端パッケージ向けに、真空搬送用のスカラアーム型ロボットと、低振動で低床・高ストローク型の大気ロボットを開発しました。 会社は2027年3月期のクリーンロボットの増収要因に、先端パッケージ向け搬送ロボットの需要増加を挙げています。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
高周波電源、ウエハ搬送ロボット、プラズマソースのうち自分の専攻と重なる製品を決め、総合技術職のどの職種で関わるかを考えます。
生産技術
FAロボット事業部が進める生産の自動化と効率化のノウハウを、他の事業部の工程へ広げ、全社の生産性向上と省人化を進めます。
- Factory Automation
- Robot System
- Line Design
- Cost Down
応募前の3手
- 13.56MHz高周波電源、UT-VDW3000HS、チャンバクリーニング用プラズマソースから一つ選び、製造装置の中での役割をまとめる
- マテリアルプロセシングとファクトリーオートメーションの売上・利益と、直近四半期の受注の伸びを書き出す
- 募集要項の職種、勤務地、初任給と、採用FAQの選考の流れを確かめる
面接で使う技術語
- RF Generator
- Impedance Matching
- Power Electronics
- Plasma
- Wafer Transfer
- Remote Plasma
- Chamber Clean
- CVD
- Joint Research
- Patent
総合技術職も総合事務職も文理を問わず応募できます。 博士後期課程の採用も行っています。
他社との違いを一言で
- プラズマ用RF電源・整合器・リモートプラズマ源
Advanced Energy
Advanced Energyはエッチング向けに、RF・DC・パルスDCの電源、インピーダンス整合器、チャンバークリーン用のリモートプラズマ源をそろえます。ダイヘンも高周波電源と自動整合器、マイクロ波電源を持ち、半導体製造装置クリーニング用のプラズマソースを作ります。
- 国内の高周波電源メーカー
京三製作所
京三製作所は電力変換システムの中にRFシステムを置き、RFジェネレータと電子マッチャー、マッチングボックスを製品に挙げます。鉄道信号や交通管理のシステムも持ちます。ダイヘンは高周波電源を溶接・接合と同じ事業に置き、電力機器を主力にしています。
- ウエハ搬送ロボット
ローツェ
ローツェのウエハ搬送システムは、搬送ロボットにアライナ、ロードポート、真空プラットフォーム、EFEM/SORTER、ストッカを加えた構成です。ダイヘンは真空・大気のウエハ搬送ロボットとFPD搬送ロボットに加え、先端パッケージ向けのパネル搬送ロボットを持ちます。
出典21件
- 公式 会社概要
- 公式 事業紹介
- 公式 プラズマ発生用電源・自動整合器
- 公式 ウエハ搬送ロボット
- 公式 海外関係会社
- 公式 国内拠点
- IR 2026年3月期 決算短信〔日本基準〕（連結）
- IR 2027年3月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕（連結）
ほか13件
- IR 2025年度（2026年3月期）決算補足資料
- IR 2026年度（2027年3月期）第1四半期決算補足資料
- IR 2026年度中期計画
- IR 有価証券報告書 第162期
- 採用 採用情報
- 採用 新卒採用 募集要項
- 採用 職種と仕事の流れ
- 採用 ダイヘンの事業展開
- 採用 採用FAQ
- 採用 数字でみるワークライフバランス
- 公式 Advanced Energy Etch
- 公式 京三製作所 RFシステム
- 公式 ローツェ ウエハ搬送システム