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半導体検査・計測装置 抵抗率・シート抵抗測定器

ナプソン

ウエハーと薄膜の電気抵抗を測る専門メーカー

半導体ウエハーや薄膜の電気抵抗を測る装置の専門メーカーです。
接触式と非接触式の両方を本格的に手がける世界で唯一のメーカーだと、会社は説明しています。

ナプソンは 抵抗率・シート抵抗測定器 を千葉で開発・製造しています。 主要納入先には 信越化学グループやSUMCO、Intel、Infineon などが並び、フラットパネルや太陽電池の企業にも納めています。

公式採用ページ 会社情報を比較
  • 厚生年金保険の被保険者数 52人 本社の適用事業所の人数です。 この規模で開発から組み立て、据付けまでを社内で担います
  • 販売展開 20カ国 台湾・中国・韓国・シンガポール・欧州・米国に販売代理店があります
  • 特許 5件 コロナ放電法は山形大学、パルス電圧励磁法は千葉大学との共同開発です

この会社の要点

向いている入口 電気設計・測定開発職

回路設計と測定技術の両方に関心がある人。 基礎知識と意欲があれば未経験でも応募できます。

入口を選ぶ
主なリスク 両方式を持つ競合がいる

KLAのFilmetrics R50は、接触式の四探針モデルと非接触の渦電流モデルをそろえています。 R54は300mmに対応し、化合物半導体やイオン注入、エピタキシャルのウエハーも用途に掲げます。

強みとリスク
出典 出典一覧（23件）

公式 21件 / 採用 2件

01立ち位置

何の会社として比べるか

ナプソンは、ウエハーや薄膜の電気抵抗を測る装置に絞った専門メーカーです。 資本金0.5億円、被保険者52人の規模で、製品を20カ国で販売しています。

四探針法の全自動ソーター

シリコン・SiCウエハーの全自動選別

ウエハーをロボットで搬送し、四探針法で抵抗率を測って仕分ける全自動機です。 対象はシリコン、ポリシリコン、SiCで、サイズは3～8インチ（または12インチ）です。 抵抗率は100μ～1MΩ・cm、シート抵抗は1m～10MΩ/sqを測れます。 シリコンウエハーでは厚さ測定、PN判定、温度測定にも対応し、SMIFやFOUPへの対応はオプションです。

  • WS-8800

公式製品情報

四探針法の自動シート抵抗測定システム

半導体プロセスの薄膜評価

拡散、エピタキシャル、イオン注入のサンプルやメタル・ITOの薄膜を測る、半導体プロセス評価用の自動機です。 対象は12インチ（オプション；200ｍｍ兼用）です。 4種類のプローブヘッドを付け替えるチェンジャー機構で、サンプルごとの交換作業を省きます。 薄膜3nmの測定実績があり、FOUPロードポートとGEM/SECSに対応します。

  • WS-3000

公式製品情報

渦電流法の全自動ソーティングシステム

化合物半導体ウエハーの非接触選別

抵抗率を渦電流法、厚さを静電容量法で測り、PN判定まで全自動で行います。 会社はシリコンウエハーやGaP、InPなど化合物半導体の生産管理に最適としています。 対象は3～8インチで、GaAsやGaNのエピウエハーも測れます。

  • NC-6800FLA

公式製品情報

四探針法の大型全自動測定システム

フラットパネル用ガラスの全自動測定

会社がフラットパネル分野の世界標準と位置付けるシート抵抗測定システムです。 ～1,500×1,850mm程度のガラスを測り、シート抵抗は10m～1GΩ/sqに対応します。 最小0.1mmピッチで測定パターンを設定でき、工場のCIM通信にも対応します。

  • RT-3000/RS-1300

公式製品情報

コロナ放電法のシート抵抗測定器

絶縁に近い薄膜の超高抵抗測定

10E+9～10E+15Ω/□の超高抵抗を非接触で測る装置です。 a-SiやIGZOの薄膜、絶縁に近い半導体材料、導電性ゴムを対象にします。 山形大学の技術協力でナプソンが開発しました。 サンプルは最大300×400mm、厚さ最大2mmで、サイズのカスタマイズにも応じます。

  • CRN-100

公式製品情報

静電容量式フラットネス測定システム

ウエハーの平坦度・厚さ測定

ウエハーのフラットネス（TTV、BOW、WARP）と厚さを非接触で測ります。 5㎜φの静電容量式プローブで、12,000点を60秒以内でスキャンします。 対象はシリコン、SiC、化合物半導体の3～8インチです。

  • FLA-200

公式製品情報

渦電流法のインライン用モジュール

製造装置へ組み込む測定モジュール

NC-110は組み込み用の抵抗率測定モジュールです。 NC-600はフラットパネル用、NC-700はフィルムサンプル用のシート抵抗測定モジュールで、いずれも渦電流法で非接触に測ります。

  • NC-110（NC-110PV）
  • NC-600
  • NC-700

公式製品情報

02収益

どこで、どれくらい儲けているか

売り物は測定装置と、その校正・点検です。 主力は、ウエハーを四探針法で測って仕分けるWS-8800と、イオン注入やエピタキシャル層のシート抵抗を測るWS-3000です。 主要納入先には信越化学グループやSUMCOのほか、Intel、Infineon、BOE、AU Optronicsも並びます。

資本金

0.5億円

設立は1984年7月4日です。 半導体関係の測定機器と関連製品の開発・製造・販売を目的に始まりました。

会社情報（会社概要・沿革・主要納入先）

厚生年金保険の被保険者数

52人

本社（東京都江東区亀戸）の適用事業所の被保険者数です。 特許は5件です。

gBizINFO 法人情報

販売展開

20カ国

開発・設計製造・組み立ては国内の千葉工場で行います。

公式サイト トップ

製品保証

1年間

年に一度の校正・点検を勧めており、卓上器は引き取り、大型器は現地で作業します。 納入から10年以上たった製品は、付属PCや部材の生産中止で修理やOS移行を断る場合があり、その際は後継機種を案内します。

アフターサービス

03強みとリスク

強みと、リスク・検討点

強みは、接触式と非接触式の両方を社内で設計から据付けまで手がけ、顧客ごとに作り込めることです。 留意点は規模で、開発と製造は千葉技術センターに集まり、被保険者は52人です。

強み

  • 接触式と非接触式の両方をつくる

    抵抗の測り方には接触式と非接触式があります。 会社は、両方式を本格的に開発・製造・販売するのは世界で自社だけだとしています。 品ぞろえは手動式から全自動、ノンストップのインラインまでで、細かなカスタマイズにも応じます。

    公式サイト トップ
  • 半導体材料とフラットパネルで高い占有率

    会社は、独自に築いた販売網で、半導体材料とフラットパネルの業界に国内外で高い市場占有率を確保しているとしています。 細かなカスタマイズに応じる点も、会社は競合他社との違いに挙げています。

    代表挨拶・ビジョン
  • 信越化学グループからIntelまで並ぶ納入先

    主要納入先（抜粋）には、信越化学グループ（信越半導体など）、SUMCO、LG Siltron、SunEdison Semiconductor、Okmeticのほか、Intel、Infineon、ON Semiconductor、X-FAB、Applied Materialsが並びます。 販売網は1988年6月に韓国・台湾、2002年4月に欧州・中国・米国の商社と代理店契約を結んで広げました。

    会社情報（会社概要・沿革・主要納入先）
  • 設計から据付けまで社内で完結

    ソフトウエア担当の社員は、設計から製造、据付けまでほとんどの工程を自社内で行う点を魅力に挙げます。 外部委託するメーカーが多い中、顧客の要望の実現と高品質のために内製しているという説明です。 測定データの管理方法は、顧客と直接打ち合わせて決めることもあります。

    採用情報 社員紹介
  • JIS・ASTMに沿った測定とNIST準拠の校正

    四探針法の装置は、JISとASTMの規格に沿った測定方法と補正方法を採ります。 装置の校正には米国立標準技術研究所（NIST）の規格に準拠した標準サンプルを使い、出荷前に検査します。 会社によれば、シリコン関連のユーザーには業界標準の測定システムとして使われています。

    技術解説 抵抗率・シート抵抗測定の原理

リスク・検討点

  • 両方式を持つ競合がいる

    KLAのFilmetrics R50は、接触式の四探針モデルと非接触の渦電流モデルをそろえています。 R54は300mmに対応し、化合物半導体やイオン注入、エピタキシャルのウエハーも用途に掲げます。

    KLA Filmetrics シート抵抗測定装置
  • 納期前の不具合対応が重い

    機械設計の社員は、納期が迫った時の不具合対応に何度も悩まされてきたと話します。 ソフトウエア担当も、出荷後の不具合対応をつらい場面に挙げます。

    採用情報 社員紹介
  • 開発と製造が千葉技術センターに集まる

    製品の開発から設計、ソフトウエア、組み立てまでを千葉技術センターで一貫して行います。 クリーンルームなどの設備も、各セクションのエンジニアもここに集まっています。

    千葉技術センター
  • 海外対応と応募条件

    海外ユーザーとの取引や現地作業が多く、日常会話程度の英語力か、伸ばす意欲が望まれます。 応募条件は35歳以下で、千葉技術センター勤務には普通自動車免許が要ります。

    採用情報 募集要項

04待遇

給与、初任給、休日、手当

給与は前職の経験、スキル、年齢で決まります。 勤務は9:00〜17:45（休憩時間 60分）、時間外業務は月平均約10 – 20時間程度、年間休日は120日程度です。

勤務時間と残業
就業時間は9:00〜17:45（休憩時間 60分）です。 時間外業務は月平均約10 – 20時間程度です。 条件は 採用情報 募集要項 に載っています。
休日
土日の完全週休二日制で、祝日、年末年始、夏季休暇があります。 年間休日は120日程度です。
手当と福利厚生
通勤交通費は月10万円まで支給され、千葉技術センター勤務者はマイカー通勤もできます。 社会保険完備で、技術職には作業用制服が貸与されます。
給与と試用期間
給与は前職での経験、スキル、年齢で決まり、入社後3ヶ月は試用期間です。
応募条件
高専・短大・大学の卒業者で、35歳以下が対象です。 千葉技術センター勤務には普通自動車免許（AT限定可）が要ります。

05勤務地と職種

どこで、どんな仕事をするか

働く場所は千葉市緑区の千葉技術センターです。 本社は東京都江東区亀戸にあり、韓国ソウルにはNapson Koreaがあります。

主な勤務地・拠点

千葉技術センター
千葉市緑区大野台2003年5月に土気へ増設し、2018年7月にクリーンルーム新建屋が完成
本社
東京都江東区亀戸（エスプリ亀戸）
韓国
Napson Korea Co.、Ltd.（ソウル）2004年7月設立
会社情報（会社概要・沿革・主要納入先）

面接で使う技術語

  • 四探針法（針を当てて電流と電圧を測る）
  • 渦電流法（磁界で非接触に測る）
  • シート抵抗（膜の表面の抵抗）
  • 抵抗率（材料そのものの電気の通しにくさ）
  • 静電容量法による厚さ測定
  • PN判定
  • TTV・BOW・WARP
  • NIST準拠の校正

四探針法は4本の針を一直線に置き、外側に電流を流して内側の電位差を測ります。 測れる範囲は四探針法が1E-3(1m)～1E+9(1G)Ω/□、渦電流法が1E-3(1m)～1E+4(10k)Ω/□程度です。

応募前の準備

  1. 技術解説で四探針法と渦電流法の原理を読み、抵抗率とシート抵抗の違いを短く書く
  2. WS-8800、WS-3000、NC-6800FLAから1つを選び、対象材料と測定レンジを書き出す
  3. 千葉技術センターが開発から組み立てまで一貫して担う点を踏まえ、電気・機械・ソフトのどこを受け持ちたいかを決める
公式採用へ

06これから

会社が次に取りにいくもの

製品の歩みは、シリコンウエハーの測定から始まり、1987年3月にフラットパネル、1993年3月に非接触の渦電流法へ広がりました。 いまはSiCや化合物半導体、新素材、大学と組んだ新しい測定法に対応製品があります。

これからの材料

化合物半導体
NC-600MAPはSiC、GaAsやGaNのエピウエハー、InPを渦電流法で測ります。 製品情報 NC-600MAP
新素材
RG-2000ALはカーボンナノチューブ、グラフェン、銀ナノワイヤーも測定対象に挙げます。 製品情報 RG-2000AL
インライン
NC-110は組み込み用の抵抗率測定モジュール、NC-600とNC-700はシート抵抗測定モジュールです。 製品情報 インライン組込用モジュール

SiCと化合物半導体の生産管理

NC-600MAPは、SiC、GaAsやGaNのエピウエハー、InPを渦電流法で測る装置です。 会社は化合物半導体の生産管理に最適としています。 ウエハーの縁から8mmの位置より内側を多点で測れます。

根拠資料

カーボンナノチューブなど新素材の評価

RG-2000ALは、カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーといった新素材も測定対象に挙げる四探針法の装置です。 会社は世界一の抵抗測定レンジを持つ四探針法測定器と説明しています。

根拠資料

大学と組んだ新しい測定法

コロナ放電法は山形大学、パルス電圧励磁法は千葉大学との共同開発で、どちらも特許を取得しています。 測定範囲は資料作成時点の概数で、技術向上などで変わる場合があります。

根拠資料

07入口を選ぶ

専攻から、入口を1つに絞る

入口は電気設計・測定開発職と機械設計職です。 回路と測定原理に強い人は前者、搬送機構や部品選定に強い人は後者が合います。

現在募集中

電気設計・測定開発職

電気・電子回路の設計が主な仕事です。 自社製品に関わる測定技術の研究開発も担い、実験から試作、製品化までを支えます。

採用情報 募集要項
現在募集中

機械設計職

自社製品の機械設計が主な仕事です。 顧客との打ち合わせで仕様を詰め、試作して設計します。 部品・材料の選定とコスト算出も受け持ちます。

採用情報 募集要項

応募前の3手

  1. 四探針法の測定手順を、自分の実験経験に当てはめて説明する
  2. WS-8800とNC-6800FLAの仕様を比べ、接触式と非接触式の長所と短所を挙げる
  3. 募集要項の就業場所、応募条件、選考方法を確かめ、総務部の採用担当へ連絡する
公式採用へ

面接で使う技術語

  • 四探針法
  • 渦電流法
  • 回路設計
  • 抵抗率
  • シート抵抗
  • 機械設計
  • ウエハー搬送
  • 部品選定
  • コスト算出
  • 仕様検討

勤務地はどちらの職種も千葉技術センターです。

他社との違いを一言で

  • 接触式と非接触式の両方

    KLA（Filmetrics）

    R50は四探針の接触式と渦電流の非接触式で、金属膜の厚さとシート抵抗をマッピングします。R54は遮光筐体と300mm対応を加えた機種です。ナプソンも両方式を持ち、ウエハーを仕分ける全自動ソーターやフラットパネル用の大型機まで製品を広げています。

  • 四探針法と水銀プローブ

    Four Dimensions

    四探針システムでシート抵抗・抵抗率・厚さを測り、水銀プローブ製品で電極形成前のウエハーのC-VとI-Vを測ります。ナプソンは抵抗測定のほか、平坦度のFLA-200やライフタイム測定器を持ちます。

  • 四探針法の手動機と自動機

    Signatone

    1968年から四探針システムをつくり、手動のPro4と、ウエハー全面をマッピングする自動のQuadPro2を持ちます。QuadPro2の対象は10 – 300 mmです。ナプソンは四探針機に加えて渦電流法の非接触機も持ち、ウエハーを搬送して仕分ける全自動ソーターまでそろえます。

参照資料一覧へ

出典23件

ほか15件

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