半導体製造装置部品 磁気シールド製品・磁界対策
オータマ
電子ビーム装置を磁気から守る、パーマロイの焼鈍と測定の会社
電子顕微鏡や電子ビーム描画・マスク検査装置を、外からの磁界の揺れから守る部品・箱・部屋・磁場キャンセラーをつくる会社です。
パーマロイの加工と磁性焼鈍の組み合わせを長年かけて最適化してきたことを強みとし、磁界の測定と現地施工まで自社で行います。
オータマは鉄ニッケル合金パーマロイの 磁気シールド部品 から、微弱磁界向けに改質した材料 Mudelta metal® までを手がけます。 主要納入先には東京エレクトロン、アドバンテスト、アルバック、荏原製作所が並びます。
- 磁性焼鈍炉 13基 真空炉6基と水素雰囲気炉7基。 会社は真空炉を国内最大級の磁性焼鈍専用炉としています
- 最上位ボックス ZS5003 の性能 90dB（1/35000） 0.1Hzでの値。 標準品は1層構造から3層構造まで3型式あります
- 磁場キャンセラーの減衰率 最大60dB 独立型CA-4000と低ノイズ型CA-3200で共通です
磁性焼鈍炉の内訳会社案内
- 水素雰囲気炉7基
- 真空炉6基
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
オータマは電子ビームを使う装置の「磁気の守り」を受け持ちます。 主要納入先には東京エレクトロン、アドバンテスト、アルバック、荏原製作所が並び、最上位の標準ボックスZS5003は0.1Hzで90dB（1/35000）の性能です。
層を重ねるほど遮る力が上がる
0.1Hzでの性能
熱処理炉の構成
炉の種類別の台数
磁気シールド部品・コア・ヨーク
透磁率が高いPCパーマロイ（ニッケル含有量78-80%）は電子光学製品のビームを守る用途に、飽和しにくいPBパーマロイ（ニッケル含有量45.0%）は磁界の強いコアなどに使います。 板厚0.1ミリから扱い、加工後の磁性焼鈍まで一貫して行います。
- PCパーマロイ
- PBパーマロイ
- センサーコア
- ヨーク
磁気シールドボックス・ルーム
標準ボックスは1層構造から3層構造までの3型式で、0.1Hzでの性能はZS5001が38dB、ZS5002が66dB、ZS5003が90dB（1/35000）です。 シミュレーション、製作、磁性焼鈍、効果測定まで自社で行い、納入時に性能評価の報告書を付けます。
- ZS5001
- ZS5002
- ZS5003
- 磁気シールドルーム
アクティブ磁気シールド（磁場キャンセラー）
磁界の揺れを3軸のセンサーで検出し、XYZのヘルムホルツコイルで打ち消します。 用途は電子顕微鏡、電子ビームマスク描画装置、マスク検査装置、集束イオンビーム装置などです。 コイルは装置のフレームにも実装でき、設置方法は建物埋め込み型、チャンバー内設置型、後施工の3通りです。
- CA-4000
- CA-3200
Mudelta metal®
パーマロイやミューメタルを、水素を使う熱処理で結晶粒を成長させて改質した材料です。 極低磁界での透磁率を測る市販機器がなかったため、会社は独自の計測システムを開発して品質管理に使っています。 極低温対応グレードには、大阪大学で超伝導量子ビットの磁気シールドに使われた実用例があります。
- Mudelta metal®
- 極低温対応グレード
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
パーマロイの磁気特性は、加工のあとの磁性焼鈍を経て初めて大きく向上します。 パーマロイは1000℃以上の熱処理で磁気を通しやすい性質が大きく高まり、熱処理は約24時間かけて行います。
磁性焼鈍炉の台数
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは、パーマロイの加工、磁性焼鈍、磁界の測定を1つの会社でつなぐことです。 その上に、独自の指標で品質を測る材料Mudelta metal®と、揺れる磁界を打ち消す磁場キャンセラーがあります。
強み
- 磁気特性を引き出す熱処理を自社の炉で持つ
パーマロイは熱処理を経て初めて磁気特性が大きく向上します。 オータマは真空炉6基と水素雰囲気炉7基を持ち、材質や数量ごとの熱処理パターンを用意しています。
company_profile - 半導体装置メーカーが主要納入先
主要納入先には東京エレクトロン、アドバンテスト、アルバック、荏原製作所が入っています。 磁場キャンセラーの用途にもマスク描画装置やマスク検査装置があります。
会社概要・沿革 - 材料の評価指標から自分でつくった
従来のJIS規定の透磁率では先端用途に足りないとして、新しい指標「ミューデルタ」と計測方法を定め、それを高める熱処理技術でMudelta metal®を完成させました。 この開発が第10回ものづくり日本大賞の経済産業大臣賞を受けています。
第10回ものづくり日本大賞受賞 - 受け身のシールドと能動的な打ち消しの両方を持つ
パーマロイの箱や部屋で磁界を遮るだけでなく、磁場キャンセラーで揺れる磁界を打ち消す製品もあります。 打ち消しコイルを装置のフレームに組み込めば、半導体計測・検査装置の設置面積を広げずに済みます。
アクティブ磁気シールド
リスク・検討点
04待遇
給与、初任給、休日、手当
月給は設計メンバーが275,000円〜350,000円、磁気技術メンバーが280,000円〜330,000円、財務担当が304,000円〜425,000円です。
キャリア採用の月給の上限
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
拠点は川崎の本社と、稲城、八王子みなみ野、茨城友部の工場です。 募集の勤務地は職種ごとに決まっています。
主な勤務地・拠点
- 本社・セントラルオフィス / 川崎
- 神奈川県川崎市多摩区登戸にあり、財務の職種の勤務地です。
- 稲城工場 / 東京
- 東京都稲城市押立にある工場です。
- 八王子みなみ野工場 / 東京
- 東京都八王子市七国にあり、磁気技術の職種の勤務地です。
- 茨城友部工場 / 茨城
- 茨城県笠間市柏井にあり、2023年2月に完成しました。 製造、設計、調達の職種の勤務地です。
磁気シールド製品ができるまで
- 磁界測定
- 磁界解析
- 材料選定
- 設計
- 板金加工
- 磁性焼鈍
- 性能評価
- 現地施工
製造部は加工、組立施工、熱処理、品質管理のチームに分かれています。
応募の準備
- パーマロイ、磁性焼鈍、磁界測定のつながりを1つの製品で説明できるようにする
- 設計、計測、製造、管理のうち応募職種に近い経験を具体的にする
- 各募集要項で仕事内容、勤務地、出張や施工の有無を確かめる
06これから
会社が次に取りにいくもの
伸びしろは、電子ビーム装置の磁界許容値が厳しくなる流れと、Mudelta metal®の半導体製造・量子用途です。
これからの材料
- 半導体製造
- 会社は、ナノレベル半導体製造向けの磁気シールドチャンバが半導体ファウンドリを中心に採用されているとしています。 Mudelta metal®
- 量子・超伝導
- 会社は、極低温対応グレードが超伝導量子ビットや超伝導加速器の磁気シールドとして期待されているとしています。 用途
- 装置への組み込み
- 打ち消しコイルを半導体計測・検査装置のフレームに実装できます。 アクティブ磁気シールド
電子ビーム装置の磁界許容値が厳しくなる
会社は、電子ビーム装置の高性能化が進む一方で、許される磁界の揺れは厳しくなる一方だとしています。 磁場キャンセラーはこの需要に向けた製品です。 用途は電子顕微鏡、電子ビームマスク描画装置、マスク検査装置、集束イオンビーム装置などです。
ナノレベル半導体製造向けのチャンバ
会社は、Mudelta metal®を使うナノレベル半導体製造向けの磁気シールドチャンバが半導体ファウンドリを中心に採用されているとしています。 会社が公表した受賞概要は、ナノレベルの半導体製造装置向けで世界市場の占有率が高いとしています。
量子コンピューターと超伝導加速器
会社は、極低温対応グレードのMudelta metal®が、超伝導量子ビットや超伝導加速器を外部磁場から守る材料として期待されているとしています。 大阪大学量子情報・量子生命研究センターに実用例があります。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
募集はキャリア採用が中心で、オープンポジションの窓口もあります。 製造系の職種は茨城友部工場に集まっています。
研究開発部 設計メンバー
シールドルームやシールドボックスを、営業と一緒に顧客の要件を聞くところから担当します。 概略設計、AutoCADとSOLIDWORKSでの詳細設計を経て、納品時の設置支援まで行います。
公式採用情報研究開発部 磁気技術メンバー
磁気シールド製品の性能検証、顧客先での磁場環境の測定、磁場キャンセラーの設計と現地での設置・動作確認を担当します。 国内外の出張が月に1～2回程度あります。
公式採用情報製造部 熱処理メンバー
加工したパーマロイ製品に磁気シールド性能を持たせる工程です。 材質・厚み・数量に応じて生産効率のよい熱処理パターンを組み、歪みが出た製品は再加工して仕上げます。
- 水素雰囲気炉
- 真空炉
- パーマロイ
面接で使う技術語
- AutoCAD
- SOLIDWORKS
- 板金設計
- 筐体設計
- 要件定義
- 磁界測定
- 磁場キャンセラー
- ヘルムホルツコイル
- 現地施工
- シミュレーション
勤務地は製造・設計・調達が茨城友部工場、磁気技術が八王子みなみ野工場、財務が本社・セントラルオフィスです。
他社との違いを一言で
- 材料と既製品の品ぞろえ
Magnetic Shield Corporation
MuMETAL®ブランドの板材在庫と、センサー校正用の卓上型ゼロガウスチャンバーなど既製品を売ります。オータマは顧客ごとの部品・ルームを一点物の注文から受け、磁場キャンセラーと自社材料Mudelta metal®も持ちます。
- 設計・材料・焼鈍・測定の組み合わせ
SEKELS
NiFe・CoFe合金の在庫、水素雰囲気炉での焼鈍、大型ヘルムホルツコイルでの遮蔽係数測定を持つ点はオータマと近い構成です。オータマは真空炉も持ち、磁場キャンセラーを自社製品にしています。
- 用途と設置場所に合わせた磁気シールド
Amuneal
約半世紀にわたり、用途と設置場所に合わせた磁気シールドを提供してきたと掲げ、水素焼鈍も行います。建築家・設計者向けの窓口も持ちます。
出典19件
- 公式 公式サイト
- 公式 会社概要・沿革
- 公式 製品一覧
- 公式 磁気シールド部品
- 公式 磁気シールドボックス
- 公式 アクティブ磁気シールド
- 公式 Mudelta metal®
- ニュース 第10回ものづくり日本大賞受賞
ほか11件
- 公式 磁性焼鈍・熱処理
- 採用 仕事紹介
- 採用 現在の募集一覧
- 採用 研究開発部 設計メンバー募集要項
- 採用 研究開発部 磁気技術メンバー募集要項
- 採用 財務経理部 財務担当募集要項
- 公式 Magnetic Shield Corporation
- 公式 SEKELS
- 公式 Amuneal Magnetic Shielding
- 公式 company_profile
- 採用 recruit