SemiMapサイト内検索

九州大学福岡県・九州

原子層プロセス科学研究室(近藤研究室)

大学院システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門(システム情報科学府 電気電子工学専攻)

教授 近藤 博基

研究内容

  • ラジカル励起原子層プロセス科学
  • デバイス信頼性物理
  • 原子層プロセス(ALP)
  • プラズマプロセス
  • 3次元ナノトランジスタ
  • 半導体集積回路(ULSI)