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神戸大学兵庫県・関西

神野・肥田研究室

工学研究科 機械工学専攻

教授 神野 伊策准教授 肥田 博隆

研究内容

  • 圧電薄膜材料
  • マイクロセンサ・マイクロアクチュエータ
  • 圧電MEMS
  • Si基板上エピタキシャルPZT薄膜
  • ZnO薄膜強誘電性
  • バイオMEMS

登録装置

装置の出典:research.kobe-u.ac.jp