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京都大学京都府・関西

ナノ物性工学(中嶋研究室)

工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 ナノサイエンス講座 ナノ物性工学分野

准教授 中嶋 薫

研究内容

  • 高速イオンと固体表面の相互作用
  • 高分解能RBS法
  • 次世代超LSI分析
  • 半導体材料の組成分析
  • クラスターイオン照射
  • 1原子層組成分析