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山梨大学山梨県・中部

石英ガラス基板上への4族半導体デバイスの作製と素子応用

クリスタル科学研究センター(結晶ボンドエンジニアリング研究部門)

教授 有元 圭介

有元 圭介: 推定 50〜52歳(1997年学部卒業から推定) 出典

研究内容

  • 4族半導体デバイス
  • ガラス基板上薄膜トランジスタ(TFT)
  • 格子歪み制御
  • エピタキシャル結晶成長
  • 多結晶半導体形成技術