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早稲田大学福岡県・九州

マイクロ電気機械システム研究室

大学院情報生産システム研究科(集積システム分野)

教授 池橋 民雄

研究内容

  • MEMS
  • 加速度センサ
  • 圧力センサ
  • モード局在化センサ
  • MEMS-回路融合デバイス
  • IoTセンサ