東北大学宮城県・東北
小野・トアン・TRUONG研究室（微小機械構成学分野）
Ono / Toda Laboratory
工学研究科 機械機能創成専攻 機能システム学講座 微小機械構成学分野
教授 小野 崇人准教授 Nguyen Van Toan
研究内容
- MEMS/NEMS
- 極限センシング
- IoTセンサー・集積化小型システム
- 熱電発電・小型エネルギーシステム
- ナノ機械素子・量子電気機械
- 小型原子時計用ベーパセル
A以上の学会発表17件 · 2019–2025年
- 2025年8件
- 2023年1件
- 2022年4件
- 2021年2件
- 2020年1件
- 2019年1件
- IEEE MEMSSIEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems9件2025年
- TransducersSInternational Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems6件2025年
- EDTMAIEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference1件2025年
- IUSAIEEE International Ultrasonics Symposium1件2022年
共同研究先4社
- 三井化学共著 · 2025年
- セントラル硝子共著 · 2017年
- Goertek Technology Japan共著 · 2020年
- TSMC共著 · 2025年