SemiMapサイト内検索

東京電機大学東京都・関東

ナノ・マイクロファブリケーション研究室

工学部 電子システム工学科

教授 茂木 克雄

研究内容

  • 半導体製造技術応用
  • ナノマイクロ加工
  • マイクロ流体デバイス
  • バイオセンサー