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徳島大学徳島県・中国・四国

川上研究室

大学院社会産業理工学研究部(理工学部 理工学科 電気電子システムコース 物性デバイス講座)

准教授 川上 烈生

研究内容

  • 半導体プラズマエレクトロニクス
  • GaNエッチングダメージ
  • ワイドギャップ半導体
  • プラズマエッチング
  • 窒化物半導体