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茨城大学茨城県・関東

Nano-Engineering Laboratory

機械システム工学領域

教授 小貫 哲平

研究内容

  • 半導体・光学材料の完全表面創成
  • ナノ微細加工
  • プロセスのモデリング&シミュレーション
  • 単結晶基板の超精密加工