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芝浦工業大学東京都・関東

微小デバイス創造学研究室

Microdevice Creation Laboratory

工学部 機械工学課程 先進機械コース/理工学研究科 修士課程機械工学専攻・博士課程機能制御システム専攻

吉田 慎哉

研究内容

  • MEMS
  • 微小電気機械システム
  • 圧電薄膜
  • 超音波センサ
  • 薄膜材料工学
  • 半導体マイクロ加工