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豊橋技術科学大学愛知県・中部

マイクロ・ナノ機械システム研究室

機械工学系(次世代半導体・センサ科学研究所兼務)

教授 柴田 隆行

研究内容

  • MEMS
  • NEMS
  • マイクロ・ナノマシニング
  • ラボオンチップ
  • マイクロ流体チップ

分野