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長崎大学長崎県・九州

プラズマ工学研究室

長崎大学大学院工学研究科、電気・情報科学部門、電気電子工学コース

教授 大島 多美子

研究内容

  • プラズマの基礎と応用
  • 低気圧プラズマを用いた各種薄膜形成プロセス
  • スパッタリング
  • CVD
  • プラズマ・表面相互作用の診断計測
  • 新規材料合成プロセス