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関西学院大学兵庫県・関西

極限環境先進ナノプロセス研究室

工学部 電気電子応用工学課程

教授 金子 忠昭

研究内容

  • 次世代化合物半導体
  • 炭化ケイ素(SiC)
  • 窒化アルミニウム(AlN)
  • 結晶成長
  • 熱エッチング
  • ナノ表面制御