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東京大学東京都・関東

三田研究室

Intelligent Semiconductor Microdevices Laboratory (Mita Lab.)

工学系研究科 電気系工学専攻(融合情報学コース)

教授 三田 吉郎

研究内容

  • MEMS-LSIモノリシック集積
  • 集積化MEMS(ポストプロセスCMOS)
  • ディープトレンチ垂直フォトダイオード
  • 柔軟なシリコンMEMS
  • マイクロラッチ機構(低消費電力MEMSメモリ)
  • 自律分散水上走行MEMS

A以上の学会発表7件 · 2024–2026年

  • 2026年2件
  • 2025年2件
  • 2024年3件

共同研究先1社