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東京電機大学東京都・関東

電子デバイス応用研究室

TDU Electronic Device and Application Laboratory

工学部 電子システム工学科

教授 六倉 信喜教授 篠田 宏之

研究内容

  • 化合物半導体結晶成長
  • 窒化物半導体
  • 酸化物半導体
  • 硫化物半導体
  • 半導体製造装置
  • デバイスプロセス

登録装置

装置の出典:epi.dendai.ac.jp