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筑波大学茨城県・関東

ナノ構造制御研究室

数理物質系 物理工学域

准教授 蓮沼 隆

研究内容

  • 集積回路用絶縁膜
  • パワー半導体
  • シリコン窒化膜
  • シリコン酸化膜
  • 電荷捕獲特性

A以上の学会発表3件 · 2022–2024年

  • 2024年1件
  • 2022年2件

共同研究先2社