千代田交易

ターボ分子ポンプの修理

ターボ分子ポンプと専用コントローラーのオーバーホール、修理、エクスチェンジ、代替機の提供、信頼性テスト済みの中古機販売を行います。 会社は、世界の既存メーカー製の機体を一社で一括して受けるとしています。 対応一覧にはライボルト、ファイファー、大阪真空機器製作所、荏原製作所、島津製作所、アルバックなどが並びます。

• ターボ分子ポンプ(TMP)修理
• TMP用コントローラーの修理・予防保全
• 代替機・互換機の提供
• 中古機販売

公式製品情報

ドライポンプの修理

荏原製作所、樫山工業、エドワーズ、大晃機械工業のドライポンプを修理します。 修理工程の効率化で最短目安1箇月程度の納期を掲げ、一部機種は予備機を持って緊急時に備えます。 ログデータを分析し、短い停止を繰り返す機体には品質改善を提案します。

• ドライポンプ(DP)修理
• オーバーホール・エクスチェンジ
• レンタル
• 中古機販売

公式製品情報

ケミカルポンプの修理

ケミカルポンプは薬液循環供給ポンプとも呼ばれ、半導体製造のウェットエッチング工程などの薬液供給設備に多く使われます。 インテグリスとミリポアの生産・保守対応が終わったモデル、イワキの低脈動ベローズポンプを含むモデルを修理します。 作業は全工程をクリーンルーム内で行い、残留金属異物を測って管理します。

• インテグリス製ポンプの修理
• ミリポア製ポンプの修理
• イワキ製ベローズポンプの修理

公式製品情報

テストウエハ

半導体の最先端プロセスに関わる研究開発用のテストウエハを扱います。 ベアウエハはφ50mmからφ450mmまでそろえ、膜付きウエハ、パターン付きウエハ、再生加工にも対応します。 SiCウエハは2インチ、3インチ、4インチ、6インチです。

• ベアウエハ
• 膜付きウエハ・パターン付きウエハ
• 再生ウエハ
• SiCウエハ・インゴット

公式製品情報

ファインセラミックス部品

ファインセラミックス製品を国内外から調達します。 高純度アルミナ(≧99.5%)は耐プラズマ性に優れ、フォーカスリングやシャワープレートなどの半導体製造装置部品に使われます。 窒化アルミは静電チャックやウエハ加熱用ヒーターに使われます。

• アルミナ部品
• 窒化アルミ部品
• サファイア部品

公式製品情報

半導体フィルター

cobetter社製の、純水・レジスト・現像液など半導体製造工程の流体をろ過するフィルターです。 UPE膜はレジストや半導体ケミカル品、PVDF膜は腐食性の強い薬液に向きます。 CMP設備のスラリー供給システム向けにはデプスフィルターを提案します。

• 半導体フィルター(cobetter社製)
• オールフッ素樹脂製カプセルフィルター
• スラリーろ過用デプスフィルター

公式製品情報

0.7億円

設立時は0.2億円でした。 1985年に0.3億円、1988年に0.4億円、2004年に0.7億円へ増資しています。

沿革

95名

男性67名、女性28名です。

会社概要

1974年7月1日

三菱商事全額出資会社の営業第二部門として工業用潤滑油類を販売し、のちに電子材料機器も扱うようになった事業を引き継いで分離設立されました。

会社概要

新竹の台湾支店

2003年に半導体関連事業の強化を目的として新竹に駐在員事務所を開き、2008年に支店へ昇格させました。

沿革