半導体製造装置 測長SEM・欠陥検査・エッチング装置
日立ハイテク
電子線で半導体の寸法と欠陥を測る、日立グループの装置会社
測長SEMで会社算出の世界シェア約70%を持ち、欠陥検査とエッチング装置も手がけます。
受注高9,428億円が売上収益8,217億円を上回り、半導体製造装置の受注増が日立の決算に表れました。
日立ハイテクは、半導体の寸法を電子線で測る 測長SEM で会社算出の世界シェア約70%を持つ装置会社です。 2026年3月期の受注高 は9,428億円で、前年比31%増えました。
- 2026年3月期 売上収益（日立の計測分析システム） 8,217億円 前年比9%増。 2025年3月期の7,565億円から652億円増えました
- 2026年3月期 調整後EBITA 1,026億円 調整後EBITA率12.5%。 日立は2027年3月期を1,220億円と見込みます
- 2026年3月期 受注高 9,428億円 前年比31%増で売上収益の1.15倍。 第4四半期は3,412億円で92%増
日立のインダストリアルAI BUを構成する3事業の売上収益（2026年3月期・旧区分）3事業の合計1兆4,259億円に対する比率 · 日立製作所 決算説明資料
- 計測分析システム（日立ハイテク）8,217億円
- インダストリアルデジタル3,987億円
- 水・環境2,055億円
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
日立ハイテクは、半導体の寸法を測る測長SEMで会社が世界トップシェアとする装置会社です。 日立の決算では計測分析システムとして開示され、2026年3月期は売上収益8,217億円、受注高9,428億円でした。
2025年3月期から2027年3月期見通しまでの売上収益と受注
売上収益
2026年3月期の受注高と売上収益
日立のインダストリアルAI BUの中での大きさ
BU内3事業の売上収益
測長SEM（CD-SEM）
ウェーハ上の微細パターンの線幅（CD）を電子線で測る装置です。 会社が世界トップシェアとする主力製品で、累計出荷は6,000台を超えました。 GT2000はHigh-NA EUV世代のデバイス開発と量産向け、CG7300はEUV世代の量産向けです。 CV7300は高加速電圧60kVのインライン計測SEMで、CS5000は3・4・6・8インチの小口径ウェーハに対応します。
- 高精度電子線計測システム GT2000
- 高分解能FEB測長装置 CG7300
- 高加速CD-SEM装置 CV7300
- 高分解能FEB測長装置 CS5000
ウェーハ欠陥検査・レビューSEM
パターン付きウェーハには暗視野式のDI4600とDI2800、鏡面のシリコンウェーハにはLSシリーズを使います。 見つけた欠陥はレビューSEMのCR7300が自動で撮像（ADR）し、自動で分類（ADC）します。 CT1000は欠陥とパターン形状を3Dで観察します。
- 暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600
- 暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI2800
- ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ（LS9600）
- ディフェクトレビューSEM CR7300 Series
プラズマエッチング装置
プラズマで導体材料を削る装置です。 コンダクターエッチングチャンバーはマイクロ波ECR方式で、処理圧力0.1Pa以下の高真空でも高密度プラズマを安定して作れます。 コイル磁場でプラズマの分布と高さを制御し、プラズマ制御の技術はチャンバのクリーニングにも応用しています。 製品名はコンダクター・DCRエッチング装置「9000シリーズ」で、運用を支えるプロダクションサポートプログラムも提供します。
- コンダクターエッチング装置・DCRエッチング装置 9000シリーズ
- プロダクションサポートプログラム
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
利益を押し上げたのは半導体製造装置の販売増です。 調整後EBITAは1,026億円、率は12.5%で、ヘルスケアの戦略投資が利益の減少要因になりました。
売上収益8,217億円 / 調整後EBITA 1,026億円
売上収益は前年比9%増、調整後EBITA率は12.5%です。 日立は増収要因に半導体製造装置と生化学免疫自動分析装置の販売増を挙げています。
通期9,428億円 / 第4四半期3,412億円
通期は前年比31%増、第4四半期は92%増です。 通期受注の36.2%が第4四半期に集まり、その増加要因は半導体製造装置です。
売上収益9,000億円 / 調整後EBITA 1,220億円
日立は第1四半期の決算で見通しを引き上げ、売上収益は10%増、調整後EBITAは194億円増、率は13.6%と見込んでいます。 第1四半期は売上収益2,096億円で12%増、受注高3,065億円で55%増でした。
調整後EBITAの実績と見通し
売上収益の推移と見通し
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは、累計6,000台を超える測長SEMの出荷実績と、売上を上回る受注です。 弱点は、半導体の数字がヘルスケアと合算で開示され、受注の伸びが半導体製造装置に集中している点です。
強み
- 測長SEMで会社算出の世界シェア約70%
測長SEMは1984年の発売以来、累計出荷台数が6,000台を超えました。 世界シェアは約70%で、各種調査会社のデータをもとに会社が算出した値です。 最先端ではGT2000がHigh-NA EUV世代の開発と量産を対象にしています。
数字で見る日立ハイテク - 加工・計測・検査を1社でそろえる
会社は自らを「加工・検査・解析」の装置を持つ唯一のメーカーと位置付けています。 製品は測長SEM、ウェーハ欠陥検査、プラズマエッチングにまたがります。 コア技術は電子線、プラズマ、真空制御、光学応用の4つです。
採用サイト ナノテクノロジー - 売上を1,211億円上回る受注
2026年3月期の受注高は9,428億円で、売上収益8,217億円の1.15倍でした。 第4四半期は3,412億円で前年同期比92%増え、増加の中心は半導体製造装置でした。 日立のCEOは、AI需要を捉えた半導体計測・検査装置事業を好調と報告しました。
日立製作所 2026年3月期 決算説明資料 - 調整後EBITA率が日立の産業部門全体を上回る
調整後EBITA率は12.5%で、日立のコネクティブインダストリーズ全体の11.0%（新区分）を上回ります。 旧区分のインダストリアルAI BUでは、3事業の売上の57.6%を日立ハイテクが占めます。 同セグメントの収益改善の理由に、日立は半導体製造装置の販売増を挙げています。
日立製作所 2026年3月期 決算説明資料 - 特許10,504件の技術基盤
採用サイトでは特許件数を10,504件と示しています。 2001年に日立製作所から計測器事業と半導体製造装置事業を承継しました。
数字で見る日立ハイテク
リスク・検討点
- 半導体の売上が単独で開示されない
日立の決算で日立ハイテクは計測分析システムとして開示され、その中身は半導体製造装置と医用分析装置です。 売上収益8,217億円も受注高9,428億円も、ヘルスケアを含む会社全体の値です。
日立製作所 2026年3月期 決算短信 - 受注の伸びは半導体製造装置が中心
通期受注の36.2%にあたる3,412億円が第4四半期に集中し、増加の中心は半導体製造装置でした。 2027年3月期第1四半期の受注高3,065億円は55%増え、日立は半導体製造、計測・検査装置と生化学免疫自動分析装置の増加を要因に挙げています。
日立製作所 2026年3月期 決算説明資料 - ヘルスケア投資が利益を押し下げる
2026年3月期の利益の減少要因として、日立はヘルスケアソリューションの戦略投資増加を挙げました。 2027年3月期の見通しでも同じ要因を挙げています。 半導体と医療を1つの事業で持つため、ヘルスケア投資の負担が計測分析システム全体の利益に表れます。
日立製作所 2026年3月期 決算説明資料 - エッチングは導体向けが製品の中心
製品ページのエッチング装置はマイクロ波ECR方式のコンダクターエッチングが中心です。 競合のLam Researchは導体とダイエレクトリック（絶縁膜）の両方のエッチングを持ち、高アスペクト比向けのVantexも掲げています。
エッチング装置 - 計測・検査でも米大手と正面から競う
KLAは光学式でナノシートやNANDの寸法と3D形状を測る装置を持ちます。 Applied MaterialsもCD計測SEMのVeritySEM 10と欠陥解析のSEMVision G10を出しています。 測長SEMのシェアを守りつつ、検査とレビューで両社と競う構図です。
KLA 計測装置 製品ページ
04待遇
給与、初任給、休日、手当
2026年度の新卒初任給は修士卒31.3万円、大学卒29万2,500円です。 年間休日は126日、年次有給休暇は24日で、経験者の総合職の想定年収は約450万円〜930万円です。
新卒初任給（総合職・月給）
- 新卒の初任給
- 2026年度の総合職は修士卒31.3万円、大学卒・高専（専攻科）卒29万2,500円、高専（本科）卒25万4,800円です。 修士卒と大学卒の差は2万500円です。 条件は 新卒採用 募集要項 に載ります。
- 勤務時間と休日
- コアタイムのないフレックスタイム制で、標準労働時間帯は8:50〜17:30、標準労働時間は7時間45分です。 年度休暇は126日、年次有給休暇は24日です。 新卒採用 募集要項
- 経験者採用の想定年収
- 総合職の想定年収は諸手当込みで約450万円〜930万円です。 給与改訂は年1回（6月）、賞与は年2回です。 経験者採用 雇用条件
- 福利厚生
- 退職金、企業年金、財形貯蓄、在宅勤務、フレックス勤務、出産・育児支援、研修支援があります。 単身寮と借上社宅も完備しています。 経験者採用 雇用条件
- 残業と休暇の実績
- 2023年度の組合員平均の時間外労働は26.6時間、年休取得日は18.9日でした。 数字で見る日立ハイテク
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
新卒の勤務地は本社のある虎ノ門のほか、茨城の那珂サイトと那珂地区マリンサイト、山口の笠戸地区など国内10か所です。 国分寺のプロセス東京技術センタは日立中央研究所の中にあります。
主な勤務地・拠点
- 本社
- 東京都港区虎ノ門一丁目（虎ノ門ヒルズ ビジネスタワー）
- 茨城・那珂地区
- 那珂サイト、那珂地区マリンサイトいずれも茨城県ひたちなか市
- 山口・笠戸地区
- 山口県下松市東豊井
- 首都圏の事業所
- 青梅事業所、プロセス東京技術センタ（国分寺市、日立中央研究所内）、晴海オフィス、柏の葉事業所、埼玉サイト
- 茨城・日立事業所
- 茨城県日立市幸町
新卒の勤務地（雇入れ直後）
- 虎ノ門（本社）
- 那珂サイト
- 那珂地区マリンサイト
- 笠戸地区
- 青梅事業所
- プロセス東京技術センタ
- 日立事業所
- 柏の葉事業所
- 晴海オフィス
- 埼玉サイト
変更の範囲は国内12ヶ所、海外32ヶ国及び地域の拠点です。
06これから
会社が次に取りにいくもの
日立は2027年3月期の計測分析システムを売上収益9,000億円、調整後EBITA 1,220億円と見込んでいます。 第1四半期の受注高は3,065億円で、前年同期比55%増えました。
2027年3月期の見通しと2026年3月期実績
- 売上収益 8,217億円 見通しは9,000億円
- 調整後EBITA 1,026億円 見通しは1,220億円
これからの材料
- 半導体計測・検査装置
- 日立のCEOは、AI需要を捉えた半導体計測・検査装置事業を好調と報告しました。 経営計画「Inspire 2027」の進捗
- High-NA EUV世代
- GT2000はHigh-NA EUV世代のデバイス開発と量産向け、CG7300はEUV世代の量産向けのCD-SEMです。 計測ソリューション
- 日立の報告区分の変更
- 2027年3月期から計測分析システム（日立ハイテク）は、日立のインダストリアルソリューションBUに入ります。 日立製作所 2026年3月期 決算説明資料
High-NA EUV世代の寸法計測
GT2000はHigh-NA EUV世代のデバイス開発と量産に向けたCD-SEMです。 CG7300はEUV世代の量産向けで、最先端の露光技術に合わせて計測装置の世代を更新しています。 High-NA EUV世代向けの売上は、日立の決算では計測分析システムの一部として開示されます。
2027年3月期は売上収益9,000億円へ
日立は第1四半期の決算で、計測分析システムの通期見通しを売上収益9,000億円、調整後EBITA 1,220億円に引き上げました。 増収要因は半導体製造、計測・検査装置などの拡大です。 会社の見通しです。第1四半期の売上収益は2,096億円で、通期見通しの23%にあたります。
日立の新区分インダストリアルソリューションBUへ
2027年3月期から、計測分析システム（日立ハイテク）は日立の新しいインダストリアルソリューションBUに入ります。 日立は同BUの2027年3月期の売上収益を1兆5,640億円と見込んでいます。 新区分でも、計測分析システムの売上収益と調整後EBITAは個別に開示されています。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
測長SEM、欠陥検査、エッチングのうち自分の専攻と重なる装置を1つ決め、エンジニア職・営業職・事業スタッフ職のどれで応募するかを選びます。
エンジニア職
職種紹介では研究開発、設計開発、品質保証、生産技術などを挙げています。 研究開発の分野には半導体計測・検査システムと、半導体製造用プラズマエッチング装置が含まれます。
新卒採用 募集要項事業スタッフ職
新卒募集要項の総合職3区分の1つです。 選考はエントリー、応募書類提出、複数回の面接の順で、営業職と同じ流れです。
- 日立グループ
- 計測分析システム
- 調整後EBITA
- 事業管理
応募前の3手
- GT2000、DI4600、9000シリーズから1機種を選び、半導体の工程のどこで何を測る・削るかをノートに書く
- 日立の決算説明資料で計測分析システムの売上収益8,217億円と受注高9,428億円を確かめ、受注が増えた理由を1行で書く
- 新卒募集要項で初任給、勤務地10か所、選考経路を確かめ、志望する勤務地と経路を決める
面接で使う技術語
- 測長SEM
- 電子光学
- 暗視野検査
- マイクロ波ECR
- 品質保証
- 技術営業
- 半導体デバイスメーカー
- 測長SEM
- 受注
- 商社営業
新卒の採用学部・学科は全学部、全学科で、採用人数は200名程度です。
他社との違いを一言で
- ウェーハの寸法・形状計測
KLA
KLAのSpectraShape 12kは光学式で、ナノシート、finFET、DRAM、積層NANDのCDと3D形状を測ります。X線のAxion T2000も持ちます。日立ハイテクは電子線の測長SEMが主力で、累計出荷は6,000台を超えました。
- 電子線計測と欠陥レビュー
Applied Materials
Applied MaterialsはCD計測のVeritySEM 10、欠陥解析のSEMVision G10、電子線検査のPrimeVision 10を製品に並べています。日立ハイテクもCD-SEMのGT2000と、レビューSEMのCR7300 Seriesを持ちます。
- プラズマエッチング装置
Lam Research
Lam Researchは導体エッチングとダイエレクトリックエッチングの両方を持ち、高アスペクト比向けにVantexを掲げます。日立ハイテクのエッチング装置はマイクロ波ECR方式のコンダクターエッチングが中心です。
出典18件
元データ: グローバルネット(株)「世界半導体製造装置・試験／検査装置市場年鑑2024」を基に経済産業省が作成。
- 公式 会社概要
- 公式 事業紹介
- 公式 エッチング装置
- 公式 計測ソリューション（測長SEM）
- 公式 検査ソリューション（ウェーハ欠陥検査）
- IR 日立製作所 2026年3月期 決算説明資料 2026年3月期 · 日立製作所 連結（計測分析システム＝日立ハイテク）
- IR 日立製作所 2026年3月期 決算短信 2026年3月期 · 日立製作所 連結
- IR 日立製作所 2027年3月期 第1四半期 決算説明資料 2027年3月期第1四半期 · 日立製作所 連結（計測分析システム＝日立ハイテク）
ほか10件
- IR 日立製作所 経営計画「Inspire 2027」の進捗 2026年3月期
- 採用 数字で見る日立ハイテク
- 採用 採用サイト ナノテクノロジー
- 採用 新卒採用 募集要項
- 採用 職種を知る
- 採用 経験者採用 雇用条件
- 公式 KLA 計測装置 製品ページ
- 公式 Applied Materials 計測・検査 製品ページ
- 公式 Lam Research エッチング 製品ページ
- 第三者 経済産業省「半導体・デジタル産業戦略の現状と今後」 p.5（2023年値）