半導体製造装置 超音波ウェーハ洗浄機
本多電子
振動子から自社で作り、MHz帯の超音波でウェーハを洗う豊橋の会社
圧電セラミックスから振動子まで自社で作り、半導体ウェーハの超音波洗浄機に組み込むメーカーです。
2025年9月期の売上高59億円は、魚群探知機や医療機器を含む全社の規模です。
本多電子は振動子を材料から自社で作る 超音波ウェーハ洗浄機 のメーカーで、洗浄方式は3つです。 2025年9月期の売上高 は59億円でした。
- 2025年9月期 売上高 59億円 魚群探知機、産業機器、医療機器、セラミックスの合計
- 2021年 国内外特許 156件 国内118件・海外38件。 超音波洗浄機の特許を含む
- 2025年5月 平均勤続年数 18.8年 正社員150名の平均
2024年10月の新卒入社と中途入社の割合採用サイト「数字とキーワード」
- 新卒入社80
- 中途入社20
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
本多電子は、超音波の振動子を自社で作り、半導体ウェーハの洗浄機と半導体製造装置向けの流量計を出している会社です。 2025年9月期の売上高は59億円で、魚群探知機や医療機器も含む全社の数字です。
国内外の特許
取得特許の内訳
周波数で選ぶ4機種
機種ごとの公称周波数
バッチ式の高周波洗浄機
洗浄槽の中でウェーハを複数枚まとめて洗う方式です。 1MHzの超音波でサブミクロンの微粒子を落とします。 用途にはシリコンウェーハ、サファイアウェーハ、半導体デバイス加工後の洗浄を挙げます。 発振器は定格600Wと1200Wの2機種で、1W単位で出力を調整できます。 振動子ユニットは6・8・12インチのウェーハに合わせ、最大3,600Wまで特注で作ります。
- W-357BM-600
- W-357BM-1200
- 特注振動子ユニット
流水式のパルスジェット洗浄機
ノズルから出る水流に超音波を乗せ、ウェーハを1枚ずつ洗う方式です。 剥がれた汚れは水流が運び去るため、微粒子が再び付きません。 周波数は400kHzから3MHzまで4機種あり、5MHzは特注で作ります。 3MHz機はさらに細かい粒子を落とし、ダメージも抑えます。
- W-357-04PG
- W-357-1MPG
- W-357-1.5MPG
- W-357-3MPG
石英振動体型洗浄機
石英ガラスの振動体から薬液を通してウェーハへ超音波を伝える方式です。 薬液に触れる部分は石英ガラスだけで、ゴムの溶け出しがありません。 用途はレジスト残渣の除去、エッチング後・アッシング後のポリマー除去、Gate電極洗浄、CMP（化学機械研磨）後の洗浄です。 標準機は1MHz・定格12Wで、照射面積は24cm2です。
- W-357-1MQG-SKC
半導体製造装置向け超音波流量計
配管を流れる液体の流速を超音波で測る流量計で、主に半導体製造装置に使われています。 流体温度200℃までの高温薬液に対応し、微小流量まで測れます。 変換器1台に、サイズの異なる検出器を2台までつなげます。
- HLF800シリーズ
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
全社の売上高59億円は、魚群探知機、産業機器、医療機器、セラミックスの4分野を合わせた数字です。 半導体向けは産業分野に入り、洗浄機と薬液の流量計の2系統で装置に入っています。
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは、振動子の材料から洗浄機まで自社で作る一貫体制です。 弱みは、半導体が事業の一部にとどまり、主流のバッチ式に微細化の課題がある点です。
強み
- 振動子の材料から自社で作る
超音波の発生源である圧電素材を、研究開発から生産まで一貫して手がけます。 15kHz〜400MHzの幅広い周波数帯でセンサと振動子を供給しています。 無鉛圧電セラミックスの実用化にも成功しました。
セラミックス製品 - 流水式洗浄の先駆け
本多電子は1986年、ノズルの流水に超音波を乗せる流水式洗浄を開発しました。 会社はこれを世界初とします。 周波数が高いほどワークを傷めにくく、微細な粒子の剥離に向きます。
超音波洗浄機の原理 - 洗浄機を含む156件の特許
2021年現在、国内118件、海外38件、計156件の特許を持ちます。 超音波洗浄機のほか、魚群探知機、無鉛圧電セラミックス、超音波プローブ、流量計の特許を代表例に挙げています。
保有技術・特許 - 洗浄装置に合わせて制御できる発振器
W-357BMは発振器と振動子ユニットに分かれた構成で、多彩なインターフェースで洗浄装置に合わせて制御できます。 RS485通信とMODBUSに対応し、出力は1W単位で変えられます。
高周波セパレート型洗浄機 W-357BM
リスク・検討点
- 半導体は事業の一部
事業分野は海洋、産業、医療です。 半導体は産業分野の中で、自動車と並ぶ生産ラインの洗浄・薬液流量計測の用途として挙がります。 海洋分野では1956年に、会社が世界初とするトランジスタ式携帯魚群探知機を開発しました。
事業案内 - 主流のバッチ式が抱える課題
バッチ式は、一度に多くのウェーハを洗え、薬液も少なくて済むため主流です。 一方で本多電子は、基板の大型化による装置の大型化と、パターン微細化による微粒子の再付着を課題に挙げています。
超音波洗浄機の原理 - 営業職は転勤の可能性がある
技術職と事務職は豊橋本社勤務です。 営業担当者は東京と大阪の営業所へ転勤する可能性があります。
採用 よくあるご質問 - 新卒営業は26卒で締め切り済み
新卒の国内営業と海外営業は、26卒の募集を終えました。 国内営業の業務は、取引先との仕様・価格・納期の調整と新規市場の開拓です。
新卒採用 国内営業
04待遇
給与、初任給、休日、手当
新卒の基本給は四大卒23.7万円、院卒25.2万円です。 賞与は年2回で計4か月分に査定が加わり、年間休日は120日です。
新卒の基本給（製品設計・ソフトウェア開発）
- 勤務時間と休日
- 勤務時間は8:15〜17:15です。 土日祝が休みで、土曜は年8回程度の出勤日があります。 年末年始と夏期にそれぞれ1週間程度の休暇があります。 新卒採用 製品設計 の募集要項に載っています。
- 手当
- 通勤手当は実費で上限3万1,600円です。 実家が本社から30km以上離れ、本社の10km以内に住める人には住宅補助が上限3万円出ます。 国内営業には営業手当3.5万円が付きます。
- 残業と有給
- 平均残業時間は月15.1時間（2025年1〜4月）で、週3日のノー残業デーがあります。 平均有給取得日数は年13.0日です。 本多電子を知る
- 福利厚生と教育
- 時間単位の有給、産後パパ育休、保養施設、社員旅行、月次報奨金、無料の社員駐車場があります。 教育では英会話教室、技術研修、資格取得補助を用意しています。
- 定着
- 2025年5月の正社員は150名で、平均勤続年数は18.8年です。 育児休職からの復職率は100%です。
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
技術職と事務職は、豊橋市大岩町の本社・工場で働きます。 営業拠点は東京と大阪で、社員の75%が自動車で通勤しています。
主な勤務地・拠点
- 本社・工場
- 愛知県豊橋市大岩町小山塚20番地
- 東京営業所
- 東京都港区赤坂
- 大阪営業所
- 大阪市淀川区宮原
- カスタマーサービスセンター
- 本社と同じ所在地マリンと産業機器の窓口
- 豊橋技術科学大学 分室
- 豊橋市天伯町のイノベーション施設内
新卒採用の職種区分
- 製品開発
- ソフトウェア開発
- 圧電材料開発
- 国内営業
- 海外営業
- 営業補助
- 広告宣伝
- 資材購買
前半3つが技術職、次の2つが営業職、後半3つが事務職です。
06これから
会社が次に取りにいくもの
半導体向けの洗浄機は、石英振動体型がCMP後やGate電極の洗浄まで用途を持ち、流水式が400kHzから3MHzまでの4機種をそろえます。
これからの材料
- 石英振動体型
- 本多電子は2006年、石英振動体型の超音波洗浄ユニットを実用化しました。 会社はこれを世界初とします。 1MHz機の2MHz〜5MHz版は特注仕様で対応します。 石英振動体型洗浄機 に用途と仕様が載っています。
- 流水式の周波数
- ラインナップは400kHzから3MHzまでで、5MHzは特注仕様で対応します。 3MHz機はさらに細かい粒子を落とし、ダメージも抑えます。
石英振動体型の用途の広さ
CMP後の洗浄、Gate電極洗浄、ポリマー除去を用途に掲げます。 振動体の形を変えれば、ウェーハ端面のベベルやノッチも洗えます。 1MHz機の2MHz〜5MHz版は特注仕様での対応です。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
技術職を目指すなら、製品設計かソフトウェア開発を選び、洗浄機の方式と周波数を説明できる状態で説明会に臨みます。
ソフトウェア開発
電子回路を制御する組み込みソフト、操作系やスマートフォン連携のユーザーインターフェイス、超音波の反射信号を画像にする処理を担います。 勤務地は豊橋本社で、転勤はありません。
新卒採用 ソフトウェア開発応募前の2手
- W-357BM、パルスジェット、石英振動体型の3方式の違いを、洗い方と用途で1行ずつ書く
- 製品設計なら発振器の回路、ソフトウェア開発なら組み込み制御か画像処理を軸に経験を整理する
面接で使う技術語
- 電子回路設計
- 試作
- 外観デザイン
- 製品企画
- 組み込みソフト
- ユーザーインターフェイス
- 画像処理
- 製品開発
- ソフトウェア開発
- 圧電材料開発
技術職は工学部出身者が多く、営業職・事務職は経済・経営・法・文学部など幅広い学部から入社しています。
他社との違いを一言で
- 高周波超音波の洗浄機
カイジョー
カイジョーのHi Megasonicは750kHzと950kHzで、最大出力は1200Wです。6・8・12インチのウェーハ向け振動板をそろえます。本多電子のW-357BMは1MHzで、定格1200Wの発振器と最大3,600Wの特注振動子ユニットを持ちます。
- バッチ式のウェーハ洗浄装置
SCREEN SPE Tech
SCREEN SPE TechのCW-2000は50〜200mmのウェーハを扱うウェットステーションで、処理槽を4・6・8槽に増やせ、処理能力は150 WPHです。本多電子のW-357BMは1MHzの超音波で、6インチと8インチ向けの振動板タイプ、6インチ向けの槽タイプがあります。
- メガソニック洗浄
プレテック
プレテックは半導体ウェーハ、半導体デバイス、フォトマスクのメーカー向けに特注の洗浄装置を作り、同業者向けに既製の洗浄ユニットも売ります。本多電子は洗浄機に加え、振動子の材料となる圧電セラミックスも自社で生産しています。
出典23件
- 公式 会社概要 2025年9月期 · 本多電子株式会社の会社全体 · 本社、創業、資本金、従業員、年商
- 公式 国内・海外拠点 本多電子株式会社の国内拠点 · 本社・工場、営業所、カスタマーサービスセンター、大学分室
- 公式 事業案内 本多電子株式会社の事業分野 · 海洋分野、産業分野、医療分野
- 公式 会社沿革 本多電子株式会社のあゆみ · 営業所開設、工場竣工、駐在員事務所
- 公式 製品技術開発史 本多電子株式会社の開発製品 · 振動子工場、無鉛圧電セラミックス、流量計
- 公式 保有技術・特許 本多電子株式会社の特許 · 国内外特許件数
- 公式 超音波洗浄機の原理 本多電子の洗浄方式の解説 · バッチ式、石英振動体型、流水式
- 公式 高周波セパレート型洗浄機 W-357BM バッチ式の高周波洗浄機 · 用途、特長、仕様、振動子ユニット
ほか15件
- 公式 流水式超音波洗浄機 ポイントタイプ 枚葉向けのパルスジェット洗浄機 · 特長、周波数別ラインナップ、仕様
- 公式 流水式超音波洗浄機 ラインタイプ 液晶ガラス向けのパルスジェット洗浄機 · ラインナップ、仕様
- 公式 石英振動体型洗浄機 石英振動体型の高周波洗浄機 · 特長、用途、仕様
- 公式 超音波計測機器 本多電子の計測機器 · 超音波流量計 HLF800シリーズ
- 公式 セラミックス製品 本多電子の圧電素材と振動子 · 周波数帯、無鉛圧電セラミックス
- 採用 新卒採用 募集要項 新卒採用の3職種 · 技術職、営業職、事務職
- 採用 キャリア採用 募集要項 キャリア採用の募集職種 · 技術職、営業職、事務職
- 採用 新卒採用 製品設計 新卒の製品設計 · 業務内容、勤務地、給与、休日、福利厚生
- 採用 新卒採用 ソフトウェア開発 新卒のソフトウェア開発 · 業務内容、勤務地、給与
- 採用 新卒採用 国内営業 新卒の国内営業 · 業務内容、営業手当、募集状況
- 採用 採用 よくあるご質問 本多電子の採用共通情報 · 転勤、研修
- 採用 本多電子を知る（数字とキーワード） 本多電子の社員データ · 正社員数、平均勤続年数、残業、有給、通勤
- 公式 カイジョー Hi Megasonic カイジョーの高周波超音波洗浄機 · 周波数、最大出力、振動板
- 公式 SCREEN SPE Tech CW-2000 SCREEN SPE Techのウェット洗浄装置 · ウェーハ径、処理槽数、処理能力
- 公式 プレテック 事業内容 プレテックのメガソニック洗浄装置事業 · 特注洗浄装置、既製洗浄ユニット