ヒューグルエレクトロニクス

容器洗浄装置（FOUP・FOSB）

300mmウェーハ用のFOUPとFOSBを洗う装置です。 UPC-12500（SORA）は全自動機で、会社が世界トップクラスの実績を得たとするUPC-12100の後継です。 SEMI規格とCE規格に準拠します。 SF-300は占有面積を大きく減らした自動機です。 IF-12は各種FOUP・FOSBを同じ機械で洗って乾かせる手動機で、プロセスキットの交換や段取り替えが要りません。

• UPC-12500（SORA）
• SF-300
• IF-12

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容器洗浄装置（レチクル・EUV POD）

レチクル専用容器とEUV PODの洗浄機です。 SR-EUV（REN）はEUV露光用のEUV PODを全自動で洗う装置で、特許を取得しています。 内側と外側のPODを分解・再組立し、それぞれ専用のチャンバーで洗浄・乾燥します。 完全無人でも動かせます。 SR-200/150（REN）はレチクル容器RSP200・RSP150向けの全自動機で、ナノレベルのパーティクル除去を掲げます。

• SR-EUV（REN）
• SR-200/150（REN）
• IA-8

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容器洗浄装置（小口径カセット・SMIF POD）

小口径ウェーハのカセットやボックスを洗う装置です。 SC-8は旧機種CRD-4500の後継の全自動機で、最大8"のウェハキャリアとボックスに対応します。 IA-8はSMIF PODを精密に洗って乾かす手動機で、研究用やパイロットラインに向けています。

• SC-8
• IA-8

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超音波ドライクリーナー

表面に付いたミクロン径の異物を、超音波振動エアーではがして回収する装置です。 基材に触れずに除塵するので、傷を付けません。 FPD、半導体、光学フィルム、二次電池など、異物管理が重要な業界で導入されています。 工程条件や基材に合わせて装置仕様を設計します。

• LCD/OLED用クリーナー
• 電池用クリーナー
• フィルム用クリーナー
• ウェブクリーナー

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ウエハ用クリーナー

ウェーハ向けの非接触ドライクリーナーです。 マウンターテーブルの清掃、ダイシングテープやBGテープの貼付前、ダイシング後、バックグラインディング後、検査工程前などで使います。 同じページの小型機SPH-X110は、小型ディスプレイ基板や平らな電子基板の除塵向けです。 工場の圧縮空気と排気ラインを使うので、導入費用を抑えられます。

• ウエハ用非接触式ドライクリーナー
• SPH-X110

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イオナイザ（静電気除去装置）

放電針に高電圧をかけてガス分子をイオン化し、帯電した物を逆の極性のイオンで中和する装置です。 静電気は周りの異物を引き寄せ、放電で絶縁破壊を起こすこともあります。 会社は自社のクリーンイオナイザーを、半導体の微細化と3D化に対応した製品と説明しています。 ブロワー型、ガン型、バー型と測定器があります。

• ブロワータイプ イオナイザ
• ガンタイプ イオナイザ
• バータイプ イオナイザ
• 測定器

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半導体組立関連装置

半導体の組立に使う装置群です。 BGテープ貼付装置、UV照射装置、ダイソーター、ダイボンダー、ボンディング強度試験装置、ウェハ移載機を扱います。

• BGテープ貼付装置
• UV照射装置
• ダイソーター
• ダイボンダー

公式製品情報

1969年2月20日創立 / 1971年8月30日設立

米国の半導体機器メーカー、ヒューグルインダストリーズ社の極東支社として発足し、のちに日本法人へ改めました。

会社概要

1987年 自動カセット洗浄装置CRD-1000

輸入装置の販売から、納期と顧客の要望に早く応えるために自社でつくる会社へ転じました。 創業者のWilliam B. Hugleは、1970年に国際半導体製造装置材料協会（SEMI）を共同で創立しています。

ヒューグルの歩み

2025年4月1日

ヒューグル開発を吸収合併し、社名はヒューグルエレクトロニクスのまま存続しました。

合併のお知らせ

2023年12月 熊本県荒尾市

九州には1993年6月に営業所を開いていました。 板橋工場は2010年4月にヒューグル開発として分社し、のちに合併で戻っています。

会社概要