半導体製造装置・部品の販売保守 クライオポンプ・真空機器・薬液管理装置
ナガセテクノエンジニアリング
半導体装置の超高真空を保守で支える長瀬産業の子会社
住友重機械工業のクライオポンプを売り、全国4拠点で直す長瀬産業の100%子会社です。
自己資本比率67.6%の財務で、2026年3月期も当期純利益3.0億円を確保しました。
ナガセテクノエンジニアリングは スパッタリングやイオン注入の装置に使うクライオポンプ の販売・保守会社です。 2026年3月期は 当期純利益3.0億円、自己資本比率67.6% でした。
- 2026年3月期 当期純利益 3.0億円 前期3.1億円から2.9%減
- 2026年3月期 純資産 19億円 前期19億円。 自己資本比率は61.1%から67.6%へ
- 2026年3月期 流動比率 313.5% 流動資産21億円に対し流動負債6.9億円
2026年3月期末の負債・純資産の構成総資産28億円
- 純資産19億円
- 負債9.3億円
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
半導体装置の超高真空をつくるクライオポンプを、売って直す会社です。 住友重機械工業の正規代理店で、保守は全国4拠点が担います。
総資産と純資産の2期推移
資産合計
純資産
Marathon CPシリーズの水の排気速度
水の排気速度
クライオポンプ
半導体製造プロセスに欠かせない超高真空をつくるポンプです。 住友重機械工業の正規代理店として、Marathon CPシリーズ6機種を販売します。 最大のCP-20は水の排気速度が29,100L/sで、CP-8の6.9倍です。
- Marathon CP-8
- Marathon CP-8LP
- Marathon CP-250LP
- Marathon CP-12
高真空バルブ
半導体製造装置や研究機器に使うゲートバルブとスリットバルブです。 米国HVA社の日本国内販売代理店として、販売と修理・メンテナンスを担います。 アプライドマテリアルズのイオン注入装置には21000シリーズが採用されました。 ノベラス（ラムリサーチ）のCVD装置には16000シリーズが入っています。
- 11000シリーズ
- 21000シリーズ
- 16000シリーズ
- 71000シリーズ
薬液管理装置 CMS
フォトリソグラフィ工程で使う現像液と剥離液を管理する装置です。 半導体と液晶パネルの製造工程を安定させ、薬品の使用量と廃液を減らします。 DDS-11は現像液の2成分の濃度をリアルタイムで自動管理し、RMSは剥離液の液ライフを延ばします。
- DDS-21(S) 現像液希釈供給装置
- DDS-11 現像液濃度管理装置
- DMS-Ⅱ 現像液回収再生装置
- DDS-32S
真空低温プローバー
真空・極低温の中で、デバイスの電気特性や磁場特性を測る装置です。 極低温プローバーは、会社が世界で初めて開発したと掲げる製品です。 GRAILシリーズには、9K以下〜300Kの任意の温度で真空の外から操作できる機種があります。 対象は半導体デバイス、MEMS、パワーデバイスなどです。
- ARKシリーズ
- GRAIL 43-305-X-LV
- GRAIL 10-305-X-LV
- GRAIL 10-HVT-X
ウエハハンドリングツール
ウェーハなどの基板を運び、移し替える道具と装置です。 半導体、MEMS、LED、フォトリソグラフィーなどの業界に、用途とプロセスに合わせて提案します。 ウエハアライナー、移載機、反転装置、SMIF PODオープナーをそろえます。
- ウエハアライナー
- ウエハ移載機
- ウエハ反転装置
- SMIF PODオープナー
ドライポンプ省電力化モジュール
ドライポンプの排気口に付けるモジュールERM-PHKです。 加熱した窒素で配管内の生成物を抑え、ポンプのモーター負荷を下げます。 会社は導入メリットに、ドライポンプの消費電力を平均10%以上下げる省電力化を挙げています。
- ERM-PHK
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
当期純利益は2期続けて3.0億円台です。 2026年3月期は総資産が7.1%減る一方、純資産は2.8%増え、財務はより厚くなりました。
2026年3月期末の資産構成
流動比率は前期の247.5%から313.5%に上がりました。
当期純利益の推移
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みはメーカー製品を直せる保守の腕です。 2018年に住友精密工業の保守を引き継ぎ、試験設備を自社拠点に持ちます。
強み
- メーカーの保守を引き継いだ実績
住友精密工業が2018年9月末でクライオポンプのサポートを終えたのを受け、翌10月1日からその保守を継承しました。 仙台・横浜・大阪・熊本の全国4拠点で対応します。 真空パネル化学洗浄、活性炭張替え、真空ベーキングも保守作業に含みます。
クライオポンプ メンテナンス - 半導体装置メーカーに採用されたバルブ
販売するHVA社のバルブは、大手半導体製造装置メーカーのOEM製品として採用実績があります。 アプライドマテリアルズのHDP-CVD装置とイオン注入装置、ノベラスのCVD装置が事例です。 販売に加えて修理・メンテナンスも担います。
HVA社 高真空バルブ - 自己資本比率67.6%の財務
2026年3月期末の純資産は19億円で、資産合計の67.6%です。 流動資産21億円は流動負債6.9億円の3倍を超えます。 当期純利益は3.0億円でした。
官報 第37期 決算公告 - 1500システムを売った表面検査装置
自社の表面検査装置SCANTECは、キズ・ムラ・スジなどの欠陥を検知します。 販売実績は約100社以上、1500システムです。 2024年には最上位機のSCANTEC9000を出しました。
表面検査装置 スキャンテック
リスク・検討点
- 主力のポンプと冷凍機は他社製
クライオポンプと極低温冷凍機は住友重機械工業の製品で、当社は正規代理店の立場です。
極低温冷凍機・クライオスタット - 修理の長さと旧製品の制約
極低温冷凍機の修理納期は製品により異なり、約1カ月と案内しています。 旧製品のヘリウムコンプレッサーには修理できない物もあります。
極低温冷凍機 メンテナンス - 検査装置の世代交代
SCANTEC8000は2024年12月に生産と販売を終えました。 現行の製品一覧は、最上位機SCANTEC9000と低価格の標準機ELEMENTSⅡです。
表面検査装置 スキャンテック - 採用募集が止まっている
公式採用ページは「現在募集は行っておりません」と案内しています。 応募の機会は募集の再開を待つ形になります。
採用情報
04待遇
給与、初任給、休日、手当
公式採用ページは現在募集を行っていません。 決算公告には、従業員賞与と退職給付の引当金があります。
05拠点と募集状況
会社拠点と、現在の募集状況
拠点は横浜・東京・大阪・仙台・熊本の5か所です。 技術・製造グループは横浜センターにあり、仙台と熊本は精密機器グループの拠点です。
会社拠点
- 本社・横浜センター
- 神奈川県横浜市港北区新羽町887。 営業、精密機器、技術・製造、スキャンテック、管理の各グループがあります。
- 東京営業所
- 東京都中央区日本橋小舟町5番1号。 営業グループと精密機器グループの窓口です。
- 関西サービスセンター
- 大阪府大阪市淀川区三津屋南1-1-33。 精密機器、営業、スキャンテック、管理の各グループを置きます。
- 東北サービスステーション
- 宮城県仙台市若林区六丁の目中町22番8号。 精密機器グループを置きます。
- 九州サービスステーション
- 熊本県熊本市東区石原1-11-70。 精密機器グループの拠点です。
仕事で使う技術
- 真空パネル再生
- 熱負荷試験
- ヘリウムリーク検査
- アルゴンスループット試験
- 真空ベーキング
- 高真空ゲートバルブ
- 現像液濃度管理
- 表面欠陥検査
06これから
会社が次に取りにいくもの
会社は光学系真空市場への参入を掲げ、展示会にはウエハ移載装置や真空低温プローバーを出しています。 2026年には東京営業所を開設しました。
これからの材料
- 光学系真空
- 2018年に、CRYOTECの保守技術で光学系真空市場へ参入すると掲げました。 クライオポンプ メンテナンス
- 搬送・クリーン機器
- セミコンジャパン2025でWS200自動ウエハ枚葉移載装置を出展予定品に挙げました。 出展案内
- 研究向け測定
- SSDM2026では真空低温プローバーと極低温冷凍機を出展予定品に挙げました。 出展案内
- 東京営業所
- 2026年に東京都中央区日本橋小舟町で開設しました。 会社概要
半導体工場向けの搬送・クリーン機器
セミコンジャパン2025に、WS200自動ウエハ枚葉移載装置やウエハ型マルチセンサーを出展予定品に挙げました。 オープンクリーンシステムKOACHやドライポンプ省力化モジュールも含みます。 出展品のうち量産工場への納入が始まった製品を聞く余地があります。
2026年に東京営業所を開設
会社の沿革は、2026年の東京営業所の開設を記しています。 横浜・大阪・仙台・熊本に続く国内拠点です。 東京営業所が担う製品と顧客の範囲は、説明会で聞くと分かります。
07応募の準備
募集再開に備えて、入口を調べる
面接では、クライオポンプの原理と保守の工程を自分の言葉で話せると強みになります。 真空と極低温の基礎が共通語です。
応募前の3手
- クライオポンプの二段冷凍（50〜80Kと10〜20K）で、どの気体をどこで捕まえるかを説明できるようにする
- Marathon CP-8からCP-20までの排気速度の差を、装置の大きさと結び付けて読む
- 現像液の濃度管理（DDS-11）とバルブ保守（HVA社）のどちらに関心があるかを決めて志望動機に入れる
他社との違いを一言で
- CRYO-U16PとCP-16の排気速度
アルバック・クライオ
CRYO-U16Pは中・大型生産装置向けで、窒素5,000L/s、水16,000L/s、水素10,000L/sです。当社が販売するMarathon CP-16は窒素4,800L/s、水17,300L/s、水素12,000L/sです。
- 再生と制御の機能
エドワーズ（CTI-Cryogenics）
オンボード クライオポンプは高速再生（Fast Regen）と複数台の同時再生を特長に挙げます。制御には組込みマイクロプロセッサを使います。当社はソルベイサイクル方式のMarathon CPシリーズを販売し、保守まで自社拠点で担います。
- クライオポンプの製品特長
ライボルト
COOLVACシリーズは、アルゴンと水素の大きな排気容量と高いクロスオーバー値をうたいます。再生はCryo Compact Controlで全自動です。当社の取扱品は、排気系にオイルが無く逆拡散が起きない点を特長とします。
出典23件
- 公式 会社概要・沿革 ナガセテクノエンジニアリング株式会社 · 主要データ、沿革 · 日本語
- 公式 事業内容・取扱品目 事業内容と仕入先別の取扱品目 · 事業内容、取扱品目 · 日本語
- 公式 国内拠点 国内ネットワーク · 本社、営業所、サービス拠点 · 日本語
- 公式 クライオポンプ 製品ページ Marathon CPシリーズ · 仕様一覧 · 日本語
- 公式 クライオポンプ 原理と特長 原理・特長 · 原理、特長 · 日本語
- 公式 クライオポンプ 応用例 応用分野 · 半導体製造における応用分野 · 日本語
- 公式 クライオポンプ メンテナンス 公表 2018-05-18 · 保守の継承・作業・設備 · お知らせ、主なメンテナンス作業、メンテナンス体制 · 日本語
- 公式 極低温冷凍機・クライオスタット 冷凍機の用途と製品 · 本文、製品資料 · 日本語
ほか15件
- 公式 極低温冷凍機 メンテナンス 作業・試験・拠点 · 主な作業、よくある質問 · 日本語
- 公式 真空低温プローバー 測定・用途・製品 · 測定、用途、製品ラインナップ · 日本語
- 公式 薬液管理装置 CMS 現像液・剥離液の管理装置 · 本文、製品ラインナップ · 日本語
- 公式 HVA社 高真空バルブ 販売代理店としての取扱品 · 用途、OEM採用事例 · 日本語
- 公式 半導体製造用ハンドリングツール 基板搬送ツール · 製品カテゴリ一覧 · 日本語
- 公式 ドライポンプ省電力化モジュール ERM-PHK · 導入メリット・特徴 · 日本語
- 公式 表面検査装置 スキャンテック SCANTECシリーズ · トピックス、適応分野 · 日本語
- ニュース セミコンジャパン2025 出展案内 出展予定品 · 出展予定 · 日本語
- ニュース SSDM2026 出展案内 出展予定品 · 出展予定 · 日本語
- 採用 採用情報 現在の募集状況 · 本文 · 日本語
- 公式 官報 第37期 決算公告 第37期決算公告 貸借対照表の要旨 · 2026年3月期 · ナガセテクノエンジニアリング株式会社 単体 · 貸借対照表の要旨 · 日本語
- 公式 官報 第36期 決算公告 第36期決算公告 貸借対照表の要旨 · 2025年3月期 · ナガセテクノエンジニアリング株式会社 単体 · 貸借対照表の要旨 · 日本語
- 公式 アルバック・クライオ CRYO-U16P 競合製品の仕様 · 特長、仕様 · 日本語
- 公式 エドワーズ オンボード クライオポンプ 競合製品群 · Key Features · 英語
- 公式 ライボルト 高真空ポンプ カタログ 競合製品の特長 · COOLVAC cryo pumps · 英語