真空機器 クライオポンプ・極低温冷凍機

アルバック・クライオ

半導体のスパッタ装置で真空をつくるクライオポンプの会社です。 量子コンピューター向けの希釈冷凍機も作ります。

アルバック・クライオは、半導体のスパッタリング工程で使うクライオポンプをつくります。
会社は、希釈冷凍機やパルスチューブ冷凍機、真空部品まで自社で一貫して開発・製造するとしています。量子コンピューター向けの次世代希釈冷凍機は、IBMの知見を取り入れて開発中です。

アルバック・クライオは 半導体のスパッタリング工程で使うクライオポンプ をつくる会社で、アルバックが50.0%、Edwards Vacuum LLCが50.0%を出資しています。 量子向けには 量子コンピューター用の希釈冷凍機 も開発し、2025年4月4日に大阪大学量子情報・量子生命研究センターへ設置しました。 次世代機はIBMと開発中で、IBMの量子データセンターでの試験を予定しています。