半導体製造装置・部材 除振・防振システム
昭和サイエンス
微振動を測り、設計し、装置の足元で抑える
半導体製造・検査装置の足元の揺れを抑える除振の専門会社。
売り物は除振台と、現場の振動測定から据付までの一式で、次の焦点は高加速度ステージへの対応です。
昭和サイエンスは 空圧アクティブ除振ユニットVAAV-A などの除振台と 振動測定から設計・据付までのパッケージ を提供するSWCCグループの会社です。 2026年3月期の年商は35億円、従業員は69人です。
- 2026年3月期 年商 35億円 単体の年商
- 従業員 69人 会社全体の人数
- 除振製品のラインナップ 搭載質量10kgから100トン以上 標準品のほか、カスタム仕様とOEMにも対応
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
昭和サイエンスは、精密装置や研究設備の足元で振動を抑える会社です。 半導体製造・検査装置ではウェハとステージの振動対策を担い、クリーンルームの床下架台も設計します。 会社は、国内外の半導体産業の成長と並んで歩んできたとしています。
VAAV-A
超高感度加速度センサで微小な振動を捉え、大出力アクチュエータで打ち消す除振ユニットです。 床側にもセンサを置くフィードフォワード制御を使い、3軸6自由度で制御します。 ステージフィードフォワード機能を標準で備えます。 搭載質量は最小機種で270～900kg、最大機種で11,400～38,000kgです。 半導体製造・検査装置では、ウェハとステージの振動対策に使われています。
- VAAV-550A
- VAAV-1000A
- VAAV-2200A
- VAAV-4000A
SAT
顕微鏡や干渉計を載せる卓上型です。 ボイスコイルのアクチュエータで3軸6自由度を制御し、制御範囲は0.5～100Hzです。 搭載質量は80kg／150kg（オプション）で、エアー源を使わず電源だけで動きます。
- SAT-45
- SAT-56
- SAT-67
- SAT-78
クリーンルーム架台
クリーンルームのフリーアクセス床下に落とし込み、床面と同じ高さに据える鋼製の架台です。 床下の建屋構造や配管に合わせてフレームを設計し、剛性架台からアクティブ除振台まで組み合わせます。 設置場所調査から設計、製作、搬入設置までを一貫して行います。
- クリーンルーム架台（縁切り）
MAC型
2026年10月1日に発売した防振ゴムです。 耐震性能は垂直1G・水平1.5Gで、固有振動数は7～10Hz、対応荷重は980N～11,760Nです。 高さ・取付ピッチ・ボルト径をそろえ、機種を選びやすくしました。
- MAC-300
- MAC-500
- MAC-800
- MAC-1200
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
2026年3月期の年商は35億円です。 営業品目は、除振台と防振ゴム・制振材・吸音材などの製品に、除振工事・防振工事・制振工事、除振コンサルタント、振動測定・解析を加えた構成です。
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは、振動を現地で測り、周波数分析から設計、据付までを一続きで引き受けられることです。 製品では、ステージフィードフォワード機能を標準で持つVAAV-Aが、半導体製造・検査装置のウェハとステージの振動対策に使われています。
強み
- 測定から据付までを一社で請け負う
除振システムの導入は、専門の技術スタッフによる現場の振動測定から始まります。 データを周波数分析し、その結果を基に除振システムを設計して、設置・据付まで担います。
オールインワンパッケージ - 納入先に半導体関連の装置・材料メーカー
除振台の主な納入先に、信越半導体、ニコングループ、キヤノングループ、アルバック、日本マイクロニクス、日本電子などを挙げています。 SPring-8や理化学研究所など研究機関への納入もあります。
会社概要 - 小型から大型までの除振製品とアジアの販売網
搭載質量10kgから100トン以上の除振製品をそろえ、カスタム仕様やOEMにも応じます。 台湾、韓国、中国などに販売代理店網を持ち、輸出貿易管理令や米国再輸出規制EARなどの非該当証明も発行します。
私たちの強み - SWCCのゴム材料技術を取り込んだ
2021年にSWCCの制振制音事業を統合しました。 電線の被覆材で培ったゴム材料技術を基にした防振ゴムを扱います。
私たちの強み
04待遇
給与、初任給、休日、手当
採用募集は今は行っていません。 従業員は69人で、社内には製造部、技術部、営業部、事業戦略室があります。
05拠点と募集状況
会社拠点と、現在の募集状況
拠点は川崎本社、相模原工場、大阪営業所です。 相模原工場はSWCC相模原事業所の中にあります。
会社拠点
- 会社拠点 / 川崎本社
- 神奈川県川崎市川崎区日進町にあります。
- 会社拠点 / 相模原工場
- 神奈川県相模原市中央区南橋本のSWCC相模原事業所内にあります。
- 会社拠点 / 大阪営業所
- 大阪府大阪市西区新町にあります。
事業工程
- 現地振動測定
- 周波数分析
- 除振システム設計
- 架台設計
- 製作
- 設置・据付
除振システム導入の流れです。
06これから
会社が次に取りにいくもの
半導体向けの次の焦点は、高加速度ステージへの対応です。 会社は2G以上のステージに向けたハイブリッドアクティブ除振台を、中国の半導体設備展で紹介する予定だと告知しました。
これからの材料
- 半導体設備展
- CSEAC2026で、高加速度対応ハイブリッドアクティブ除振台をパネル展示する予定だと告知しました。 CSEAC2026出展
- 海外展開
- 台湾、韓国、中国などに販売代理店網を持ちます。 私たちの強み
- 新製品
- 新型三方向防振ゴムMAC型を発売しました。 MAC型発売
高加速度ステージ向けのハイブリッド除振台
会社は、ステージの高加速度化（2G以上）の要求が増えていると説明しています。 これに向けたハイブリッドアクティブ除振台は、従来のステージフィードフォワード制御に高性能アクチュエータを加えて変位を抑える製品です。 2026年8月28日に、中国のCSEAC2026へ中国の販売店・大都電子上海、中央精機と共同で出展する予定だと告知しました。この製品はパネル展示の予定でした。
海外の装置向けに売る体制
台湾、韓国、中国などアジア各国に販売代理店網を持ちます。 輸出製品には外国為替令や米国再輸出規制EARなどの非該当証明を発行します。 除振台のほか、ハニカムや石材の定盤、中央精機製のステージやオートフォーカスを使った完成装置も提供しています。
07応募の準備
募集再開に備えて、入口を調べる
募集の再開に備えるなら、半導体装置の床振動とステージ振動をどう測り、除振システムに落とし込むかを自分の言葉で話せるようにします。
他社との違いを一言で
- 卓上型アクティブ除振台
明立精機
MEシリーズの制御範囲は0.5Hz～100Hzで、SATと同じです。搭載質量は80kgで、SATは80kg／150kg（オプション）を用意します。明立精機はゲイン調整の自動最適化を特長に挙げています。
- 空圧アクティブ除振ユニット
倉敷化工
Type-Aは空気ばねをアクチュエータに使い、搭載質量は除振ユニットごとに最大1,120kgです。用途に半導体製造装置・検査装置とFPD製造装置・検査装置を挙げます。VAAV-Aは除振台全体の搭載質量で示し、最大機種は11,400～38,000kgです。
- 研究用顕微鏡向けアクティブ除振
Herzan
TSとAVIは圧電素子のセンサとアクチュエータを使い、研究用顕微鏡向けを前面に出しています。AVIは9,000kgまでの装置に対応します。SATのアクチュエータはボイスコイルです。
出典17件
ほか9件
- 公式 クリーンルーム架台
- 公式 オールインワンパッケージ
- 公式 振動・環境測定
- ニュース CSEAC2026出展
- ニュース MAC型発売
- 公式 MAC型
- 公式 明立精機 MEシリーズ
- 公式 倉敷化工 Type-A
- 公式 Herzan Active Vibration Control