半導体製造装置の周辺機器 温調チラー（冷水循環装置）
ステップサイエンス
エッチャーやMRIの温度を保つチラーを特注で作るメーカー
半導体製造装置と医療機器の温度を保つチラーを
1台からの特注で設計し、納入後の保守まで自社で担うメーカーです。
ステップサイエンスは エッチャー・ステッパー・CVDなどの半導体製造装置と、MRI・CT・PETなどの医療機器 に向けたチラーを作っています。 チラーの累積納入は 10,000台 で、国内MRI向けチラーの出荷台数は会社調べで1位です。
- 半導体製造装置用チラーの累積納入 2,000台 2020年に到達。 2017年は1,500台でした
- SCS-105Wの温度制御精度 ±0.1 半導体プロセス専用機。 冷却能力5.0㎾、使用温度帯5℃～60℃
- サービスエンジニアの月給 220,000円〜450,000円 東京事業所勤務。 年間休日122日
サービスエンジニアの年間の休日と勤務日募集要項
- 年間休日122日
- 勤務日243日
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
ステップサイエンスは、装置の温度を保つチラーを作るメーカーです。 取引先には半導体メーカーと半導体製造装置メーカーが各6社以上、国内MRI・医療機器メーカーが4社以上あります。
半導体と医療の両方に取引先
業種別の取引社数
半導体プロセス専用チラー
半導体製造装置向けに開発した専用機で、2026年6月22日に発売しました。 用途例はパワー半導体のドライエッチングとプラズマCVD装置です。 幅270㎜の細い筐体で、連結2ch仕様にも対応します。 冷媒はノンフロン冷媒モデルと低GWP冷媒モデルから選べます。
- SCS-105Wシリーズ
常温の水冷チラー
SCS-105Wは冷却能力5.0㎾、温度制御精度±0.1です。 SCS-30Wは冷却能力70.0kWの大容量機で、15℃～25℃を±1.5で保ちます。 SCS-2WDHは純水対応で、使用温度帯は10℃～80℃、冷却能力は2.32kWです。 SCS-1.1R2WDは冷却能力0.4～6.0kWです。 ここまでの機種の採用実績は半導体製造装置です。 SCS-5WV（冷却能力4.3kW～18kW）は医療機器と加工機に採用されています。
- SCS-105Wシリーズ
- SCS-30Wシリーズ
- SCS-2WDH
- SCS-1.1R2WD
マイナス温度帯と高温度帯のチラー
SCS-6RHEWDは1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。 使用温度帯は-15℃～40℃（CH1）と40℃～80℃（CH2）で、冷却能力は6.0kWです。 採用実績は半導体製造装置です。
- SCS-6RHEWD
チラーの使われ方
半導体工場では、製造装置の本体やプロセス液の温度を一定に保ちます。 医療では、MRIに使うヘリウムガスの付帯設備を冷やします。 実験室では分析装置の本体を冷やします。
- MRI用チラー
- 分析装置用チラー
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
規模を測る手がかりは納入台数です。 半導体製造装置用チラーの累積納入は2020年に2,000台へ達しました。
半導体製造装置用チラーの累積納入
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは、少量多品種の装置を特注で作り、納入後の点検まで自社で受け持つことです。 半導体向けとMRI向けの両方で長い納入実績があります。
強み
- 少量多品種の特注に対応
要求仕様を聞き取り、冷水装置を1台から設計・開発・製造します。 会社は、他の冷水装置メーカーで難しい案件にも対応できる可能性があるとしています。
5分で分かるステップサイエンス - 半導体向けの長い納入実績
1995年に半導体向け恒温水循環装置の販売を始めました。 2018年10月には-40℃の省エネタイプを出しています。 主要取引先にはキオクシア、ラピダス、ルネサスエレクトロニクス、ソニーセミコンダクタマニュファクチャリングが並びます。
会社概要・沿革 - MRI向けを長く手がける
1989年にMRI用冷却水循環装置を発売しました。 2018年11月には、医療向けチラーの設計・製造・点検・保守でISO 9001:2015の認証を取りました。
会社概要・沿革 - 冷媒回収の資格を全員が持つ
各都道府県で第一種フロン類回収業者に登録しています。 サービス担当は全員が冷媒回収技術者の資格を持ちます。
環境問題・フロン規制の対応
リスク・検討点
- 遠方と緊急対応は協力会社と分担
保守は自社のサービスエンジニアに加え、全国各地の協力メンテナンス会社と連携して担います。 遠方の客先や緊急対応もこの連携で受けます。
サービスネットワーク - 医療向けは部品の変更にも承認が要る
医療関連では、冷水装置が管理医療機器の一部とみなされる場合があります。 その場合は仕様・製造・部品の変更でも、顧客の承認を得て開発を進めます。
製品開発 - 経営者の交代直後
2026年5月1日付で郡司次郎氏が社長を退いて会長に就き、郡司幸平氏が社長に就きました。
代表取締役社長交代のお知らせ
04待遇
給与、初任給、休日、手当
サービスエンジニアの月給は220,000円〜450,000円です。 土日祝が休みで、年間休日は122日です。
サービスエンジニアの月給
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
勤務地は江戸川区瑞江の東京事業所です。 仕事は、出荷前の試運転と、客先に置いた装置の点検・修理が中心です。
主な勤務地・拠点
- 本社
- 東京都江戸川区瑞江4-48-5
- 東京事業所
- 東京都江戸川区瑞江1-13-52023年5月に移転して改称。 募集の勤務地
- 北上サービスセンター
- 岩手県花巻市桜町1-468-2
- 名古屋サービスセンター
- 愛知県名古屋市中村区野田町字柳下20-7
サービス職の現場で使う言葉
- 試運転
- 設置・立上
- 定期点検
- 部品交換
- 冷媒回収
- ガス溶接
- 電気工事
募集要項と職種紹介の仕事内容から
06これから
会社が次に取りにいくもの
次の焦点は冷媒規制への対応と、温度域の広い多チャンネル機です。 冷媒の面では、SCS-105Wでノンフロンと低GWPの両モデルを出しました。
これからの材料
- 冷媒
- SCS-105Wはノンフロン冷媒モデルと低GWP冷媒モデルで発売しました。 発売のお知らせ に特徴と用途例があります。
- 温度域
- 会社は、半導体関連向けに-40℃～80℃の多チャンネルチラーを開発しているとしています。
- 医療向け
- 会社は、病院の設置環境に合わせた低騒音・省エネ・セパレートタイプのチラーを開発し、すでに市場に出しているとしています。
SCS-105Wで冷媒規制に備える
会社は地球温暖化対策として、SCS-105Wにノンフロン冷媒モデルと低GWP冷媒モデルを用意しました。 圧縮機のインバーター制御に独自の低負荷容量制御を加え、負荷の変化を捉えて液温が変わる前に冷媒能力を制御するとしています。 発売は2026年6月22日で、まだ新しい製品です。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
入口は東京事業所のサービスエンジニアです。 半導体向けと医療向けの両方の装置に触れる仕事です。
技術職 サービスエンジニア
半導体や医療機器に使う冷水循環装置のメンテナンスを担う正社員職です。 一日の例では、午前に出荷前の新規装置を試運転してデータを確かめ、午後は都内の病院で装置を点検し、記録に基づいて部品を交換します。
サービスエンジニア 募集要項面接で使う技術語
- 試運転
- 定期点検
- 部品交換
- 冷媒回路
職種紹介には営業と組立・検査もあり、組立ではガス溶接で冷凍回路を組みます。
他社との違いを一言で
- 冷却能力と冷却方式
SMC
SMCの冷凍式サーモチラーは冷却能力1kW～15kWです。水冷却式は温度調整範囲20℃～90℃の常温域向けで、冷凍機を使わないフロンレス型です。ステップサイエンスは冷却能力70.0kWのSCS-30Wを持ち、1台からの特注に応じます。
- ノンフロン冷媒
オリオン機械
オリオン機械はノンフロン冷媒R1234yfを使うノンフロンインバータチラーを出しています。ステップサイエンスは半導体プロセス専用のSCS-105Wで、ノンフロン冷媒モデルと低GWP冷媒モデルを用意しました。
- 半導体製造装置向けの純水温調
関東精機
関東精機のPURE MATICは水・純水の液温自動調整機で、露光装置などの半導体製造装置に使われます。ツインパルス弁制御（特許）を載せ、装置に組み込むOEM供給の実績を掲げています。ステップサイエンスの純水対応機SCS-2WDHは、1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。
出典19件
- 公式 会社概要・沿革
- 公式 水冷チラー（常温）製品ページ
- 公式 水冷チラー（低温）製品ページ
- ニュース 半導体プロセス専用高性能チラー 発売のお知らせ
- 公式 チラーとは
- 公式 製品開発
- 公式 サービスネットワーク
- 公式 環境問題・フロン規制の対応
ほか11件
- ニュース 代表取締役社長交代のお知らせ
- 採用 採用情報
- 採用 サービスエンジニア 募集要項
- 採用 5分で分かるステップサイエンス
- 採用 職種紹介
- 採用 先輩の声
- 公式 SMC サーモチラー
- 公式 オリオン機械 ノンフロン製品
- 公式 関東精機 PURE MATIC
- 公式 会社情報・代表挨拶
- 公式 公式サイト トップ