半導体製造装置 イオン注入装置・レーザアニール装置
住友重機械工業
減速機と建機の重機械グループの中で、イオン注入装置の3機種をそろえる半導体子会社
半導体ではイオン注入装置とレーザアニール装置を子会社の住友重機械マテリアルソリューションズが手がけます。
担当SBUの売上は2025年に388億円、まで39.1%減り、会社はこの事業を中計29の最終年度までにグループの牽引事業へ引き上げる計画です。
住友重機械は イオン注入装置 とレーザアニール装置を子会社で作っています。 担当SBUの2026年の受注予想 は大型キャンセルを受けて450億円から360億円へ下がりました。
- 2025年12月期 マテリアルソリューションズSBU売上高 388億円 2024年12月期の637億円から39.1%減
- 2026年12月期 同SBU売上予想 460億円 2月の予想500億円から40億円引き下げ。 上期実績は198億円
- 2026年12月期 同SBU受注予想 360億円 2月の予想450億円から90億円引き下げ。 上期受注は174億円
2025年12月期 インダストリアル マシナリーセグメントのSBU別売上高
- プラスチックスソリューションズ1,024億円
- マテリアルソリューションズ（イオン注入・レーザアニール）388億円
- その他事業・控除・調整等308億円
- メタルプロセッシングソリューションズ264億円
- メディカル＆カンタムソリューションズ242億円
この会社の要点
01立ち位置
何の会社として比べるか
住友重機械工業は2025年12月期の連結売上高が1兆669億円の総合機械メーカーで、半導体製造装置は子会社の住友重機械マテリアルソリューションズ（2026年に住友重機械イオンテクノロジーから社名変更）が担います。 イオン注入装置とレーザアニール装置を扱うマテリアルソリューションズSBUの売上は、2025年12月期に388億円でした。
マテリアルソリューションズSBUの売上高と受注高
売上高
受注高
グループの中での半導体装置の位置
セグメント別売上高
高エネルギーイオン注入装置
多段RFリナック加速方式のHE3シリーズと、枚葉式の超高エネルギー装置S-UHE、SS-UHE Ⅱを扱います。 S-UHEのエネルギー範囲は85keVから6.8MeVです。 高エネルギー注入は、トリプルウェル形成とCCD・CISなどのイメージセンサ量産に欠かせない工程です。
- S-UHE
- SS-UHE Ⅱ
- HE3
高電流・中電流・All-in-One型イオン注入装置
SAionは高電流装置と中電流装置を統合した300mm対応装置で、エネルギー範囲は0.2keVから630keV、メカニカルスループットは500枚/hです。 中電流装置比でビーム電流を2倍以上に増やしました。 枚葉式高電流のSHX-Ⅲは0.2keVから60keV、中電流のMC3-Ⅱは3keVから960keVに対応し、バッチ式のNV-GSDⅢ-180は2keVから180keVを受け持ちます。
- SAion
- SHX-Ⅲ
- MC3-Ⅱ
- NV-GSDⅢ-180
レーザアニール装置
LT-3100はUVレーザでウェハ最表面だけを溶融させるアニール装置で、温度の上昇・下降は200ns以下です。 ドーパント活性化、薄膜の結晶化、欠陥修復、表面平滑化、3D実装向けの処理に使い、厚さ40µm以下の超薄型ウェーハにも対応します。 イオン注入後に電気的特性を引き出す工程を担う装置で、同社は両技術を組み合わせたソリューションを提供しています。
- LT-3100
02収益
どこで、どれくらい儲けているか
イオン注入装置とレーザアニール装置はインダストリアル マシナリーセグメントに属し、2025年12月期はセグメント売上の17.4%でした。 半導体関連の受注残が減ったことで、セグメント営業利益は123億円から42億円へ落ちました。
売上高1兆669億円 / 営業利益515億円
営業利益率は4.8%です。 半導体製造装置はこのうちインダストリアル マシナリーセグメントの一部です。
売上高5,542億円 / 営業利益374億円
売上高は前年同期比12%増、営業利益は73%増で、営業利益率は6.8%です。
売上高1兆1,200億円 / 営業利益680億円
8月に売上高予想を1兆900億円から1兆1,200億円へ、営業利益予想を600億円から680億円へ引き上げました。
売上高2,226億円 / 営業利益42億円
営業利益率は1.9%で、2024年12月期の123億円から減りました。 決算短信は半導体関連の受注残が少なかったことを減益の理由に挙げています。
2024年12月期637億円 / 2025年12月期388億円
受注高は2024年12月期395億円、2025年12月期352億円で、2025年12月期の受注高は売上高の0.91倍でした。
2025年12月期 インダストリアル マシナリーのSBU別売上高
インダストリアル マシナリーの営業利益
03強みとリスク
強みと、リスク・検討点
強みは高電流・中電流・高エネルギーの3機種とレーザアニール装置を1社でそろえる品ぞろえと、国内デバイスメーカーへの納入網です。 弱点は顧客がイメージセンサとパワー半導体に偏り、2025年にはその需要低下でSBU売上が39.1%減ったことです。
強み
- 3機種すべてを製造販売する国内唯一のメーカーと会社は説明
イオン注入装置は高エネルギー・高電流・中電流の3カテゴリーに分かれ、同社は3機種すべてを製造販売する世界3社の1つで、国内では唯一だと採用サイトで述べています。 SAionは高電流と中電流を1台に統合した装置です。
住友重機械マテリアルソリューションズ 仕事内容 - 国内デバイスメーカーへの納入網
住友重機械マテリアルソリューションズの装置は、日本国内すべての半導体デバイスメーカーに納入実績があります。 サービスセンターは岩手県北上市、横浜市、横須賀市、三重県四日市市、熊本県大津町にあり、5か所で保守を受け持ちます。
製品情報（イオン注入装置） - イメージセンサ向けの超高エネルギー注入
S-UHEは最大6.8MeVの注入に対応し、製品ページは高性能イメージセンサ工程に不可欠な装置と位置づけています。 2023年にはイメージセンサ市場向けにSS-UHE Ⅱを開発しました。
高エネルギーイオン注入装置 S-UHE - イオン注入とレーザアニールの組み合わせ
2025年に住友重機械工業メカトロニクス事業部のレーザ装置事業と統合しました。 グループは中計26の期間にフランスのLASSE（現SMS-E）を買収し、イオン注入装置とレーザアニール装置の統合・連携強化で事業を広げる方針です。
2025年12月期 決算説明会資料 - 2026年上期のSBU売上は198億円
2026年12月期中間期のインダストリアル マシナリーは、受注残が多かったことから半導体製造装置を中心に売上が増え、マテリアルソリューションズSBUの上期売上は198億円でした。
2026年12月期 第2四半期（中間期）決算短信
リスク・検討点
- イメージセンサとパワー半導体への依存
2025年12月期は、イメージセンサとパワー半導体の需要低下で売上が大幅に減り、マテリアルソリューションズSBUの売上は前年の637億円から388億円になりました。 会社の分析では、AI向け以外の半導体とパワー半導体の需要が低調で、イオン注入装置の回復が遅れました。
2025年12月期 決算説明会資料 - 大型キャンセルと予想の引き下げ
2026年の決算説明会では、第1四半期に大型のキャンセルが入ったことを受注・売上の下振れ要因に挙げました。 同SBUの通期予想は受注高が450億円から360億円へ、売上高が500億円から460億円へ下がり、資料は顧客の投資延期・見直しを理由にしています。
2026年12月期 第2四半期 決算説明会質疑応答 - 顧客層と参入分野の狭さ
会社は中計29の資料で、イオン注入装置の課題を「顧客層と参入分野が限定的」と書き、新規顧客・市場への参入遅れを認めています。 成長の中心がAI向けの先端ロジック・メモリへ移るなか、イメージセンサとパワー向けに強い品ぞろえがそのまま伸びにつながるとは限りません。
2026年12月期 第2四半期 決算説明会資料 - 属するセグメントの低い利益率
マテリアルソリューションズSBUを含むインダストリアル マシナリーの営業利益率は、2025年12月期1.9%、2026年12月期中間期2.1%でした。 会社は半導体装置事業の収益力改善を急務とし、人員対策も含めた構造改革を進めています。
2025年12月期 決算説明会資料 - 中国市場の急変
2025年12月期の資料は、中国市場の急変と市場回復の遅れで半導体装置事業が影響を受け、半導体分野の売上が中計26の計画を大幅に下回ったと総括しています。 会社は2024年実績から2026年見込までの半導体分野の売上推移をCAGR -7%としています。
2025年12月期 決算説明会資料
04待遇
給与、初任給、休日、手当
親会社の住友重機械工業の新卒初任給は修士了31.1万円、学部卒29.1万円で、賞与は平均基準賃金月額の5.03ヶ月分です。 イオン注入装置の仕事は子会社の住友重機械マテリアルソリューションズが採用しています。
住友重機械工業 新卒初任給（月給）
- 新卒の初任給
- 住友重機械工業の2026年4月の実績で、博士了33.1万円、修士了31.1万円、学部卒29.1万円です。 条件は 新卒採用 募集要項 に載ります。
- 賞与と休暇
- 賞与は年2回で、一般社員平均賞与一時金は平均基準賃金月額の5.03ヶ月分です。 年次有給休暇は22日で、週休2日（土・日）と国民の祝日が休みです。
- 福利厚生
- 独身寮、住宅手当制度、財形貯蓄制度、育児・介護支援制度、持株会があります。
- 子会社の採用
- イオン注入装置とレーザ装置の設計開発は住友重機械マテリアルソリューションズの新卒エンジニア職で、勤務地は愛媛事業所と横須賀事業所です。
05勤務地と職種
どこで、どんな仕事をするか
開発・製造の拠点は愛媛県西条市の愛媛事業所と神奈川県横須賀市の横須賀事業所で、東京本社は品川区大崎の親会社と同じビルにあります。 国内のサービスセンターと、台湾・中国・韓国・米国・フランスの現地法人が顧客の工場を支えます。
主な勤務地・拠点
- 愛媛事業所
- 愛媛県西条市今在家1501番地
- 横須賀事業所
- 神奈川県横須賀市夏島町19番地
- 国内サービスセンター
- 東北（北上市）、関東（横浜市）、横須賀、近畿東海（四日市市）、九州（熊本県大津町）
- 海外
- 台湾新竹、上海、深圳、韓国華城、米国フェニックス、フランスGennevilliers（SMS-E）
主な職種と新卒の対象専攻
- 設計開発
- 製造
- サポート
- バックオフィス
- 物理
- 機械
- 電気
- 情報
- 化学
前半4つが採用サイトに載る主な職種、後半5つが新卒エンジニア職の対象専攻です。
入社前後の育成
- 内定者研修（1泊2日程度）でフィールドワークと企画立案に取り組む
- 入社1〜3年はOJTで経験を積む
- 内省型リーダーシップ研修SALTと地方創生×リーダーシップ研修DAIS（いずれも1泊2日×4回）
06これから
会社が次に取りにいくもの
会社は中計29で半導体装置事業を牽引事業にする方針を掲げ、2026年8月に本社直轄の半導体装置本部へ改組しました。 レーザアニール装置の量産体制と、メモリ・ロジック・欧米顧客へのイオン注入装置の販売が柱です。
全社の中計29目標と現状
- 営業利益率 6.1% 2029年度目標は10%
- ROE 5.0% 2029年度目標は10%
- ROIC 5.3% 2029年度目標は8%
これからの材料
- 牽引事業の条件
- 2035年に営業利益率15%以上、売上1,000億円以上を狙う事業を牽引事業と定め、半導体装置事業を中計最終年度までにその位置へ引き上げると 2026年12月期 第2四半期 決算説明会資料 に載ります。
- レーザアニール
- LASSE（現SMS-E）の買収と、旺盛な引き合いに対応する生産体制の増強を進めています。
半導体装置事業を牽引事業へ
住友重機械は中計29で、半導体装置事業を全社で牽引事業に育てる方針です。 牽引事業の条件は2035年に営業利益率15%以上、売上1,000億円以上で、2025年12月期のマテリアルソリューションズSBU売上388億円の2.6倍にあたります。 2026年8月にはMS-SBUを本社直轄の半導体装置本部に改組しました。 中計29は未参入顧客の開拓と新市場への進出を共通の方策に挙げ、半導体市場の成長軸はAI系の先端ロジック・メモリへ移ると見ています。
レーザアニール装置の量産体制
会社は旺盛なレーザアニール装置の引き合いに対応するため生産体制を増強中で、2026年1月に半導体装置事業推進室を新設して増産に向けた活動を始めました。 中計29でもレーザアニール事業の量産体制構築の加速を方策に挙げています。
メモリ・ロジックと欧米顧客への展開
住友重機械はメモリ・ロジックの新規分野と欧米顧客へのイオン注入装置販売を重点施策に挙げています。 会社は2026年にロジックで需要が増えると見込んでいます。 イメージセンサ市場は26年後半以降の回復を想定しています。 2026年12月期第2四半期の説明会で会社は、1Qに大型のキャンセルが入り、マテリアルソリューションズの受注と売上が下振れしたと説明しました。
アジアの拠点拡大
台湾新竹、上海、深圳、韓国、米国フェニックス、フランスに現地法人・拠点を持ち、新着情報ではシンガポール拠点新設を告知しました。 2026年9月にはSEMICON WEST 2026への出展を告知しました。
07入口を選ぶ
専攻から、入口を1つに絞る
イオン注入装置、レーザアニール装置のどちらに関わりたいかを決め、子会社の採用と親会社の部門別採用のどちらで応募するかを選びます。
設計開発（物理・機械・電気・ソフト）
新卒のエンジニア職で、半導体製造用イオン注入装置およびレーザ装置の物理・機械・電気・ソフト設計と開発を担います。 勤務地は愛媛事業所（西条市）と横須賀事業所です。
公式採用情報サポート（プロセスサポート・フィールドサービス）
購入後の調整などを行うプロセスサポートと、安定運用のためのフィールドサービスを担います。 サービスセンターは東北・関東・横須賀・近畿東海・九州にあります。
- Field Service
- Process Support
- Customer
- Troubleshooting
応募前の3手
- S-UHE、SAion、SHX-Ⅲ、LT-3100から1機種を選び、エネルギー範囲と用途をノートに書く
- マテリアルソリューションズSBUの売上637億円、388億円、460億円予想の推移と、その理由を自分の言葉で書く
- 募集職種一覧と募集要項で、職種、勤務地、初任給、選考の流れを書き出す
面接で使う技術語
- Ion Implantation
- Beamline
- Mechanical Design
- Electrical Design
- Software
- Assembly
- Manufacturing
- Vacuum
- Cleanroom
- Quality
新卒エンジニア職の対象は物理・機械・電気・情報・化学の専攻です。
他社との違いを一言で
- 高電流・中電流・高エネルギーをそろえる専業メーカー
Axcelis Technologies
AxcelisはPurionシリーズでHigh Current、Medium Energy、Medium Current、High Energyの用途をそろえ、スループットは最大500 WPHです。住友重機械マテリアルソリューションズは1983年に住友重機械工業と米国イートン社の50/50合弁として設立され、2009年にアクセリス社との合弁を解消しました。SAionは高電流と中電流を1台に統合した300mm対応装置です。
- 国内のイオン注入装置メーカー
日新イオン機器
日新イオン機器は半導体製造用とFPD製造用のイオン注入装置、材料改質装置を扱い、自動車向けのパワーデバイス製造でイオン注入の重要度が増していると書いています。住友重機械側はS-UHEなどの超高エネルギー装置をイメージセンサ工程向けに持ち、レーザアニール装置LT-3100も自社で開発・製造します。
- SiC・パワーデバイス向け高エネルギー注入
アルバック
アルバックのIH-860PSICとIH-1200PSICはパワーデバイスとSiCデバイス向けの高エネルギー装置で、3価イオンで1200keVまで、基板はΦ150mmとΦ200mmに対応します。住友重機械側の高エネルギー装置S-UHEは最大6.8MeVで、製品ページはイメージセンサ工程を主な用途に挙げています。
出典25件
- IR 2026年12月期 第2四半期（中間期）決算短信 2026年12月期中間期
- IR 2025年12月期 決算短信 2025年12月期
- IR 2026年12月期 第2四半期 決算説明会資料 2026年12月期中間期
- IR 2025年12月期 決算説明会資料 2025年12月期
- IR 2026年12月期 第2四半期 決算説明会質疑応答 2026年12月期中間期
- IR 中期経営計画
- 公式 住友重機械工業 会社概要
- 公式 住友重機械工業 イオン注入装置
ほか17件
- 公式 住友重機械マテリアルソリューションズ 会社概要
- 公式 住友重機械マテリアルソリューションズ 事業所一覧
- 公式 住友重機械マテリアルソリューションズ 沿革
- 公式 製品情報（イオン注入装置）
- 公式 高エネルギーイオン注入装置 S-UHE
- 公式 All-in-One型イオン注入装置 SAion
- 公式 中電流イオン注入装置 MC3-Ⅱ
- 公式 高電流イオン注入装置 SHX-Ⅲ
- 公式 高電流イオン注入装置 NV-GSDⅢ-180
- 公式 レーザアニーリング装置 LT-3100
- ニュース 新着情報
- 採用 住友重機械マテリアルソリューションズ 募集職種一覧
- 採用 住友重機械マテリアルソリューションズ 仕事内容
- 採用 住友重機械工業 新卒採用 募集要項
- 公式 Axcelis Technologies 製品
- 公式 日新イオン機器 イオン注入装置事業
- 公式 アルバック IHシリーズ