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大阪大学大阪府・関西

量子ビーム物質科学研究分野(古澤研)

Dept. Beam Materials Science (Kozawa Lab.)

産業科学研究所 第2研究部門(材料・ビーム科学系)

教授 古澤 孝弘

研究内容

  • EUVリソグラフィ
  • 半導体デバイス製造プロセス
  • 微細加工材料
  • レジスト材料
  • 量子ビームプロセス