ウェーハ前工程
リソグラフィ
回路パターンをレジストへ転写し、後続加工の形を決める工程。
この工程の仕事
- レジストを塗布しパターンを露光する
- 位置合わせと線幅を管理する
代表的な装置・設備
- 露光装置(Stepper / Scanner)
- アライメント装置
- マスク関連装置
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求人例35件から
- ラピダス(技術開発統括部)コーターデベロッパー技術開発担当(EUV・Bevel対応/材料スクリーニング)
- ラピダス(技術開発統括部)露光機技術開発担当(リソグラフィプロセス最適化)
- SCREEN【SPE】塗布現像装置の機械設計エンジニア 担当者/リーダー
- SCREEN【SPE】塗布現像装置設計(ソフトウェア) 担当者/リーダー
- SCREEN【SPE】塗布現像装置設計(電気) 担当者/リーダー
- イビデン【電子事業本部】要素技術開発/レジストプロセスエンジニア