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ウェーハ前工程

リソグラフィ

回路パターンをレジストへ転写し、後続加工の形を決める工程。

この工程の仕事

  • レジストを塗布しパターンを露光する
  • 位置合わせと線幅を管理する

代表的な装置・設備

  • 露光装置(Stepper / Scanner)
  • アライメント装置
  • マスク関連装置

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