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ウェーハ前工程

洗浄・表面処理

粒子・金属・有機物・自然酸化膜などを除去し、次工程に適した表面を作る工程。

この工程の仕事

  • 薬液・純水・物理作用で汚染を除去する
  • 表面状態と再汚染を管理する

代表的な装置・設備

  • スクラブ洗浄装置
  • 乾式洗浄装置
  • 乾燥装置
  • 洗浄・乾燥装置
  • 湿式洗浄装置
  • 枚葉洗浄装置
  • バッチ洗浄装置
  • ウェットベンチ

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