ウェーハ前工程
塗布・現像
露光の前後でレジスト塗布、ベーク、現像を連続処理するコータ／デベロッパ工程。
この工程の仕事
- ウェーハへレジストを均一に塗布する
- ベーク後、露光パターンを現像する
代表的な装置・設備
- コーター・デベロッパ（塗布現像装置）
- レジスト処理装置
- CLEAN TRACK
- Coater / Developer
- 東京エレクトロン LITHIUS
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求人例8件
- ラピダス（技術開発統括部）コーターデベロッパー技術開発担当（EUV・Bevel対応／材料スクリーニング）
- SCREEN【SPE】塗布現像装置の機械設計エンジニア 担当者/リーダー
- SCREEN【SPE】塗布現像装置設計(ソフトウェア) 担当者/リーダー
- SCREEN【SPE】塗布現像装置設計（電気） 担当者/リーダー
- マイクロン・テクノロジーEUV Track Equipment Engineer
- マイクロン・テクノロジーHVM Photo Track Engineer同じ題の募集 2件