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京都大学京都府・関西

ナノ・マイクロシステム工学(土屋研究室)

Nano/Micro System Engineering Lab

工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 ナノシステム創成工学講座 ナノ・マイクロシステム工学分野

教授 土屋 智由准教授 廣谷 潤

土屋 智由: 1968年生・58歳 出典

研究内容

  • 半導体微細加工技術によるMEMS/NEMS
  • シリコンナノ・マイクロ構造
  • MEMSセンサ・アクチュエータ
  • ナノギャップデバイス
  • ダイヤモンドナノ共振器
  • CNT-TFT物理リザバー

A以上の学会発表11件 · 2020–2025年

  • 2025年3件
  • 2024年1件
  • 2023年2件
  • 2022年2件
  • 2021年2件
  • 2020年1件