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九州工業大学福岡県・九州

新海聡子研究室

情報工学部 電子情報通信工学分野(大学院情報工学研究院、飯塚キャンパス)

准教授 新海 聡子

研究内容

  • 半導体デバイスの製造プロセス
  • 化合物半導体プロセス
  • 酸化ガリウムのドライエッチング
  • GaNパワーデバイス
  • ウエハー接合・3次元集積

学会論文1本 · 2023年

  • 2023年1本