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山形大学山形県・東北

成田克研究室

工学部 情報・エレクトロニクス学科 電気・電子通信コース(大学院理工学研究科 情報・エレクトロニクス専攻)

教授 成田 克

研究内容

  • シリコンエピタキシー
  • 半導体表面科学
  • 結晶成長
  • プラズマCVD
  • 3C-SiC薄膜