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京都大学京都府・関西

材料設計工学講座(深見グループ)

Fukami Research Group

工学研究科 材料工学専攻 材料設計工学講座

教授 深見 一弘准教授 黒川 修

研究内容

  • 半導体材料の陽極酸化ナノ加工
  • ポーラスシリコン
  • SiC・ダイヤモンド表面加工
  • 半導体の化学ダイシング
  • 半導体ナノヘリカル材料
  • 多元系合金薄膜