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豊田工業大学愛知県・中部

機能半導体デバイス研究室

Functional Semiconductor Devices

大学院工学研究科 電子情報分野

教授 沼田 敏典

研究内容

  • 強誘電体ゲート絶縁膜トランジスタ
  • ALDによるGa2O3薄膜形成
  • SiC MOS構造を用いた量子センサ
  • 新チャネル材料MOSトランジスタ
  • TCADシミュレーション
  • 高性能半導体デバイス新規材料