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関西大学大阪府・関西

電子機能材料プロセス研究室

システム理工学部 グリーンエレクトロニクス工学科

准教授 大堀 大介

研究内容

  • 原子層エッチング
  • 反応層工学(RLE)
  • ワイドバンドギャップパワー半導体
  • 量子デバイス界面改質
  • 半導体プロセス
  • ラジカル制御薄膜成長