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広島大学広島県・中国・四国

量子半導体工学研究室

先進理工系科学研究科 量子物質科学プログラム

教授 東 清一郎

研究内容

  • 大気圧熱プラズマジェット
  • 電子デバイス作製プロセス
  • フレキシブルMOSトランジスタ(単結晶Si層のPET基板転写)
  • 光学干渉非接触温度測定法(OICT)
  • 4H-SiCコンタクト特性
  • 薄膜結晶成長・絶縁膜低温形成・接合形成

A以上の学会発表4件 · 2022–2026年

  • 2026年1件
  • 2025年1件
  • 2024年1件
  • 2022年1件