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琉球大学沖縄県・九州

岡田研究室

Okada Laboratory

工学部 工学科 電子情報通信コース/理工学研究科 電子システム・デバイスプログラム

助教 岡田 竜弥

研究内容

  • 薄膜半導体素子・材料物性
  • スパッタ成膜a-Si薄膜の結晶化
  • 急速熱処理時の薄膜・基板の温度解析
  • デバイスシミュレータによるTFT特性解析
  • ガラス・プラスティック基板上へのTFT作製
  • InSb薄膜の結晶化