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東京都立大学東京都・関東

精密計測・マイクロデバイス研究室

システムデザイン研究科 機械システム工学域

教授 楊 明

研究内容

  • MEMS
  • Bio-MEMS
  • マイクロ加工
  • 薄膜機械特性計測
  • MoS2ガスセンサ