工程管理・欠陥／歩留まり
計測
線幅・膜厚・重ね合わせ・形状などを数値で測り、工程を制御する領域。
この工程の仕事
- 寸法・膜厚・位置ずれを定量測定する
- 測定結果を工程制御へ戻す
代表的な装置・設備
- ウェーハ形状計測装置（平坦度・反り）
- ウェーハ評価装置
- ライフタイム測定器
- CD-SEM
- 膜厚計
- Overlay計測装置
求人票に出る語
求人例20件から
- ラピダス（技術開発統括部）CD-SEMエンジニア
- ラピダス（技術開発統括部）メトロロジー（MTR）担当
- ラピダス（品質保証部）評価解析部FIB-SEM/TEMエンジニア
- ラピダス（品質保証部）評価解析部FIB-SEM/TEMスペシャリスト
- ラピダス（品質保証部）評価解析部SEMエンジニア
- ラピダス（品質保証部）評価解析部SEMスペシャリスト