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工程管理・欠陥/歩留まり

検査・計測

ウェーハや製品の欠陥を検出・分類し、歩留まり改善へつなげる領域。

この工程の仕事

  • 外観・欠陥・異物を検出する
  • 欠陥レビューと原因解析を行う

代表的な装置・設備

  • 検査評価装置(ウェーハプロセス)
  • 組立検査評価装置
  • 欠陥検査装置
  • レビューSEM
  • 外観検査装置

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