SemiMapサイト内検索

摂南大学大阪府・関西

光波制御デバイス研究室

理工学部 電気電子情報工学科

教授 山田 逸成

研究内容

  • ソフトインプリントリソグラフィー
  • 偏光デバイス
  • グリーンプロセス微細加工
  • 酸化物格子
  • 半導体デバイス代替プロセス