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東京都立大学東京都・関東

応用物性・結晶工学研究室

システムデザイン研究科 電子情報システム工学域(電気電子工学科)

准教授 中村 成志

研究内容

  • 次世代半導体欠陥物性
  • 半導体評価技術
  • 低損傷加工プロセス
  • 新機能デバイス開発