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大阪公立大学大阪府・関西

集積デバイスグループ(安田グループ)

Integrated Device Group

大学院工学研究科 電子物理系専攻 電子物理工学分野

准教授 安田 雅昭

研究内容

  • 極端紫外線リソグラフィのシミュレーション
  • 電子線と固体の相互作用
  • 分子動力学シミュレーション
  • ナノインプリント成型過程の解析
  • 量子ビーム照射改質
  • マルチスケール・マルチフィジックス解析

登録装置

装置の出典:omu.ac.jp

学会論文2本 · 2025–2026年

  • 2026年1本
  • 2025年1本

共同研究先3社