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山梨大学山梨県・中部

半導体/耐熱合金の微細組織評価

クリスタル科学研究センター(結晶構造エンジニアリング研究部門)

准教授 山中 淳二

研究内容

  • 歪Si/SiGe微細組織評価
  • 透過電子顕微鏡(TEM)
  • 格子歪み評価
  • STEMモアレ
  • ナノビーム電子回折