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芝浦工業大学東京都・関東

エネルギー物性研究室

Energy Materials Laboratory

工学部 電気電子工学課程 電気・ロボット工学コース/理工学研究科 修士課程電気電子情報工学専攻・博士課程地域環境システム専攻

西川 宏之

西川 宏之: 推定 59〜63歳(1993年博士取得から推定) 出典

研究内容

  • 量子ビーム微細加工
  • ナノリソグラフィ
  • マイクロマシン
  • 誘電体マイクロ構造
  • ナノテクノロジー