ADR（自動欠陥レビュー）｜検査・計測 › 欠陥レビュー

ADR（自動欠陥レビュー）とは、欠陥検査が出した座標をもとに、その場所へ顕微鏡を自動で移動させて欠陥の画像を撮り、データベースへ保存する仕組みである。ウェーハ全面を高倍率で撮るのは生産の時間に収まらないため、撮る場所を検査結果で絞り、限られた時間で多くの欠陥の姿を集める。集めた画像は、欠陥の種類ごとに分けるADC（自動欠陥分類）などに使われる。