欠陥レビュー検査・計測
欠陥レビューとは、欠陥検査で記録された座標へ高分解能の顕微鏡を移動させ、そこにある欠陥を1個ずつ観察して形と成分を調べ、種類を確定する作業である。検査が答えるのは欠陥の場所と数までなので、発生源の工程や装置を突き止めて対策を打つには、欠陥が何かを知る必要がある。この撮像と記録を自動化したものがADR（自動欠陥レビュー）である。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”検査・計測の下にある工程で、同じ分類にはほかに4工程がある。
- ADR（自動欠陥レビュー）：ADR（自動欠陥レビュー）とは、欠陥検査が出した座標をもとに、その場所へ顕微鏡を自動で移動させて欠陥の画像を撮り、データベースへ保存する仕組みである。
- 欠陥レビューSEM